HG
中华人民共和国化工行业标准
HG/T 5895-2022
工业用混合气体 硅烷/氮气
Mixed gas used for industry-Silane in nitrogen
中华人民共和国工业和信息化部发布
前言
本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草.
请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任.
本文件由中国石油和化学工业联合会提出.
本文件由全国气体标准化技术委员会混合气体分技术委员会（SAC/TC206/SC2）归口.
本文件起草单位：广东华特气体股份有限公司、吴华气体有限公司西南分公司、中吴光明化工研究设计院有限公司、杭州新世纪混合气体有限公司、大连大特气体有限公司、北京氮普北分气体工业有限公司、武汉钢铁集团气体有限责任公司、福建久策气体股份有限公司、上海申南特种气体有限公司、南通市金通气体有限公司.
珊、蒋宏达、赖晓峰、唐霞梅、吴靓、米陈闽. 本文件主要起草人：傅铸红、孙福楠、张金波、曲庆、赵俊秀、周亚兰、齐利兵、曹素英、陈艳
工业用混合气体 硅烷/氮气
1范围
了检验规则，规定了混合气体的技术要求、包装、标志、储存及安全信息的要求.
本文件适用于由电子工业用硅烷和高纯氮（或超纯氮）为原料制备的混合气体.
2规范性引用文件
件，仅该日期对应的版本适用于本文件：不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适 下列文件中的内容通过文中的规范性引用面构成本文件必不可少的条款，其中，注日期的引用文用于本文件.
GB190危险货物包装标志GB/T4844纯氮、高纯氮和超纯氮GB/T5275.7气体分析动态体积法制备校准用混合气体第7部分：热式质量流量控制器 GB/T5099（部分）钢质无缝气瓶GB/T5832.1气体分析微量水分的测定第1部分：电解法GB/T6285气体中微量氧的测定电化学法GB/T7144气瓶颜色标志GB/T8979纯氮、高纯氮和超纯氮 GB/T11640铝合金无缝气瓶GB/T14850气体分析词汇GB15258化学品安全标签编写规定GB/T15383气瓶阀出气口连接型式和尺寸GB/T16804气瓶警示标签 GB/T15909电子工业用气体硅烷GB/T28726气体分析氨离子化气相色谱法GB/T34525气瓶搬运、装卸、储存和使用安全规定GB/T34526混合气体气瓶充装规定GB/T34710.1混合气体的分类第1部分：有毒分类 GB/T34710.2混合气体的分类第2部分：腐蚀性分类GB/T34710.3混合气体的分类第3部分：可燃性分类GB/T38523混合气体的制备压力法GB/T38527校准混合气体技术通则GB50646特种气体系统工程技术标准 TSG23气瓶安全技术规程ISO 19230气体分析采样导则（Gas analysis-Sampling guidelines）
3术语和定义
GB/T14850、GB/T38523中界定的术语和定义适用于本文件.
4技术要求
4.1原料气
4.1.1硅烷
应符合GB/T15909的技术要求.
4.1.2高纯氮、超纯氮
应符合GB/T8979中高纯氮、超纯氮的技术要求.
4.2混合气体
应符合表1的规定.
表1技术要求
技术指标项目名称 级 二级硅烷（SiH）含量（摩尔分数）×10 1. 5~25. 0 1.5~25. 0氮气（N）含量（摩尔分数）×10² 98. 5~75. 0 98.5~75.0[硅烷（SiH）氮气（N）]含量（摩尔分数）×10 >99.5 99.5氧气（0 ）含量（摩尔分数）×10 ≤0.1 3一氧化碳（CO）含量（摩尔分数）×10 ≤0. 1二氧化碳（C）含量（摩尔分数）×10° ≤0. 1水分（H（）含量（摩尔分数）×10° 甲烷（CH）含量（摩尔分数）×10 ≤0. 1 <0.2注：制备相对偏登应在硅烧含量的士5%以内. 5制备 5.1制备设施 应符合GB/T34526的规定. 5.2制备方法 5.2.1瓶装、气瓶集束装置装混合气体的制备 5.2.1.1称量法 5.2.1.1.1制备方法概述 定量添加原料至气瓶中，通过称量，得到每种添加组分的质量，按公式（1）计算混合气体中组分：的含量（摩尔分数）. 式中： m；-混合气体中组分：的添加质量的数值，单位为克（g）； x-混合气体中组分；的含量（摩尔分数）；M-混合气体中组分i的摩尔质量的数值，单位为克每摩尔（g/mol）；--混合气体中组分的数量. 5.2.1.1.2制备实例 见HG/T4985-2016中附录A 5.2.1.2压力法 5.2.1.2.1原理应符合GB/T38523的规定. 5.2.1.2.2制备实例 见HG/T4985-2016中附录B. 5.2.2管道输送混合气体的制备 制备原理宜符合GB/T5275.7的规定，也可以使用体积流量计代替质量流量计制备. 6检验规则 6.1组批 注：组批只适用于瓶装混合气体，不适用于气瓶集束装置装混合气体和管道输送混合气体. 制备混合气体时，一次充装过程制备的气体定义为一批. 6.2采样 按ISO19230的规定执行. 6.3抽样 6.3.1对于称量法和压力法制备的瓶装混合气体，按表2的规定随机抽样检查.
