1总则
1.0.1为了使洁净厂房设计符合节约能源、劳动卫生和环境保护 的要求，做到技术先进、经济适用、安全可靠，确保洁净厂房设计质 量，制定本规范。
1.0.2本规范适用于新建、扩建和改建洁净厂房的设计。
1.0.3洁净厂房设计应是施工安装、维护管理、检修测试和安全 运行的基础。
1.0.4洁净厂房设计除应符合本规范外，尚应符合国家现行有关 标准的规定。
2术语
2.0.1洁净室cleanroom 空气悬浮粒子浓度受控的房间。
它的建造和使用应减少室内 诱人、产生及滞留的粒子。
室内其他有关参数如温度、湿度、压力 等按要求进行控制。
2.0.2洁净区.cleanzone 空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。
它的建造和使用应减少 空间内诱人、产生及滞留粒子。
空间内其他有关参数如温度、湿 度、压力等按要求进行控制。
洁净区可以是开放式或封闭式。
2.0.3移动式洁净小室mobilecleanbooth 可整体移动位置的小型洁净室。
有刚性和柔性材料围挡 两类。
2.0.4人身净化用室roomforcleaninghumanbody 人员在进入洁净区之前按一定程序进行净化的房间。
2.0.5物料净化用室roomforcleaningmaterial 物料在进入洁净区之前按一定程序进行净化的房间。
2.0.6粒径particle size 给定的粒径测定仪所显示的、与被测粒子的响应量相当的球 形体直径。
2.0.7悬浮粒子airborneparticle 用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子尺寸范围在0.lum～ 5um的固体和液体粒子，但不适用于表征悬浮粒子的物理性、化学 性、放射性及生命性。
2.0.8超微粒子ultrafineparticle 具有当量直径小于0.1um的粒子。
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2.0.9微粒子microparticle 具有当量直径大于5um的粒子。
2.0.10粒径分布particle size distribution 粒子粒径频率分布和累积分布，是粒径的函数。
2.0.11含尘浓度particle concentration 单位体积空气中悬浮粒子的颗数。
2.0.12洁净度cleanliness 以单位体积空气中大于或等于某粒径粒子的数量来区分的洁 净程度。
2.0.13气流流型air flowpattern 对室内空气的流动形态和分布进行合理设计。
2.0.14单向流unidirectional airflow 通过洁净室（区）整个断面的风速稳定、大致平行的受控气流。
2.0.15垂直单向流verticalunidirectionalflow 与水平面垂直的单向流。
2.0.16水平单向流horizontalunidirectionalflow 与水平面平行的单向流。
2.0.17非单向流non-unidirectionalflow 送人洁净室（区）的送风以诱导方式与室（区）内空气混合的气 流分布类型。
2.0.18混合流mixed airflow 单向流和非单向流组合的气流。
2.0.19洁净工作区clean working area 除工艺特殊要求外，指洁净室内离地面高度0.8m～1.5m的 区域。
2.0.20空气吹淋室airshower 利用高速洁净气流吹落并清除进人洁净室人员表面附着粒子 的小室。
2.0.21气闸室airlock
设置在洁净室出入口，阻隔室外或邻室污染气流和压差控制 而设置的缓冲间。
2.0.22传递窗passbox 在洁净室隔墙上设置的传递物料和工器具的窗口。
两侧装有 不能同时开启的窗扇。
2.0.23洁净工作台cleanbench 能够保持操作空间所需洁净度的工作台。
2.0.24洁净工作服cleanworkinggarment 为把工作人员产生的粒子限制在最小程度所使用的发尘量少 的洁净服装。
2.0.25空态as-built 设施已经建成，其服务动力公用设施区接通并运行，但无生产 设备、材料及人员的状态。
2.0.26静态at-rest 设施已经建成，生产设备已经安装好，并按供需双方商定的状 态运行，但无生产人员的状态。
2.0.27动态operational 设施以规定的方式运行，有规定的人员在场，并在商定的状态 下进行工作。
2.0.28已装过滤器检漏installedfiltersystemleakagetest 为确认过滤器安装良好、没有向洁净室（区）的旁路渗漏，过滤 器及其框架均无缺陷和渗漏所做的检测。
2.0.29高效空气过滤器highefficiencyparticulateairfilter (HEPA) 在额定风量下，对...
