ICS29.045 H82 备案号：50548-2015 SJ 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T11491—2015 短基线红外吸收光谱法测量 硅中间隙氧含量 Test methods for measurement of interstitial oxygen content in silicon by short baseline infrared absorption spectrometry 2015-04-30发布 2015-10-01实施 VGN 102 中华人民共和国工业和信息化部发布 N SJ/T11491—2015 前 言 本标准按照GB/T1.1一2009制定的规则起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本标准由全国半导体设备与材料标准化技术委员会(SAC/TC203)归口 本标准起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、 苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技木有限公司 本标准主要起草人：李静、何秀坤 INDUSTRI ECHNO SJ STANDARDS I SJ/T11491—2015 短基线红外吸收光谱法测量 硅中间隙氧含量 1范围 本标准规定了用短基线红外光谱法测定硅中间隙氧含量. 本标准适用于在室温下用短基线红外吸收法，测量低电阻率的n型硅单晶和p型硅单晶中间隙氧含 量.测量氧含量的有效范围从 氧的最大固溶度的测试. 2术语和定义 INDUSTRY AN INFORMATI 下列术语和定 文件 ON 2.1 背景光谱 background spectruim 在红外光普中，无样品存在的下使用单光束测量获得的光谱，通常包括氨气，空气等信息. 2.2 基线baselne HNO 从测量光普电峰的两侧最大透过率处出的一多线，来计算吸收系数@，见图1. 2.3 半高宽full width achalf maximum(FWHM) 半峰高处的吸收带魔度.见图1. 2.4 参比方法reference methe TANDARDS S 用测试样品光谱计算扣除无氧 动引起的吸收影响，获得含氧测试样品 的红外透射光谱，要求无氧参比样品与测试样品序皮差小于±0.5%. 2.5 参比光谱reference spectrum 参比样品的光谱.用双光束光谱仪测试时，可以把参比样品放在样品光路测量，让参比光路空着， 由参比样品光谱计算扣除背景光谱获得参比样品光谱：用单光束光谱仪测试时，直接用参比样品光谱计 算扣除背景光谱获得参比样品光谱. 2.6 样品光谱sample spectrum 1 ...
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