ICS 31.030 L 90 备案号：50566-2015S 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T11509--2015
液晶显示器用ITO腐蚀液 ITOetchingsolutionforliquidcrystaldisplay
2015-04-30发布2015-10-01实施
中华人民共和国工业和信息化部发布
SJ/T11509-2015
前言 本标准是按照GB/T1.1-2009之规则起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。
本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）归口。
本标准起草单位：江阴润玛电子材料股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院。
本标准主要起草人：戈士勇、何珂、王周霞、王香、
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SJ/T 11509--2015
液晶显示器用ITO腐蚀液
1范围 本标准规定了液晶显示器用ITO腐蚀液的术语、分类、性状、技术要求、试验方法、检验规则和包 装、标志、储存、运输等。
本标准适用于液晶显示器用ITO腐蚀液，以下简称ITO腐蚀液。
本标准不涉及使用安全性问题本标准当的安全健康条款及使用范围的限 制。
2规范性引用文件 下列文件对于是的凡是注日期的引用件，期的版本适用于本文 件。
凡是不注日其最新版本（低括的修改单）适用于本文件 GB/T 191包装储运图示 GB/T 601标 GB/T 602剂杂液的制备 GB/T603化学式剂试验力法中所使用制剂及制的制备 GB/T 4472化工广密度、相对 GB/T66722产品采 GB/T6682验室用水规格和试验方法 GB/T 9723火焰原子吸收光谱法通则 GB/T 9727磷酸盐测定通用方法 GB/T 9728试确酸盐测定通用方法 GB/T9854-2008化学试剂草酸 GB/T11446.1电子级
HG/T3474-2000化学试剂三氯化铁 SJ/T 11510-2015液晶显示器用铝腐蚀液 3术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。
3.11T0 indium tin oxides 铟锡氧化物，一种n型氧化物半导体。
SJ/T 11509-2015 3.2超纯硝酸ultrapure nitric acid 金属离子含量不大于1μg/L的硝酸。
4分类、性状和技术要求 4.1分类...
