JJF 1932-2021 椭偏仪校准规范.pdf

JJF 中华人民共和国国家计量技术规范 JJF1932—2021 椭偏仪校准规范 Calibration Specification for Ellipsometers 2021-12-08发布 2022-06-08实施 国家市场监督管理总局发布 JJF1932—2021 椭偏仪校准规范 JJF1932-2021 Calibration Specification for Ellipsometers 归口单位：全国光学计量技术委员会 主要起草单位：中国计量科学研究院 中国兵器工业第二○五研究所 参加起草单位：中国电子科技集团公司第四十一研究所 上海市计量测试技术研究院 陕西省计量科学研究院 本规范委托全国光学计量技术委员会负责解释 JJF1932—2021 本规范主要起草人： 刘文德（中国计量科学研究院） 陈赤（中国计量科学研究院） 王雷（中国兵器工业第二○五研究所） 参加起草人： 孙权社（中国电子科技集团公司第四十一研究所） 叶军安（上海市计量测试技术研究院） 李奕（陕西省计量科学研究院） ...