中华人民共和国国家标准
GB/T34326-2017/ISO16531:2013
表面化学分析深度剖析AES和 XPS深度剖析时离子束对准方法及其 束流或束流密度测量方法
Surfacechemical analysis-Depth profiling-Methodsfor ionbeamalignment and the associated measurement of current or current densityfor depthprofilinginAESandXPS
（ISO16531:2013 IDT)
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布
目次
前言引言 IV1范围2规范性引用文件3术语、定义、符号和缩略语4系统要求.5离子束对准方法6何时进行离子束对准及其检查 10附录A（资料性附录）离子束对准优劣情况下AES深度剖析谱图对比 11附录B（资料性附录）使用同轴电极杯对准 12参考文献 13
前言
本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草.
本标准使用翻译法等同采用ISO16531：2013《表面化学分析深度剖析AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法）
本标准由全国微束分析标准化技术委员会（SAC/TC38）提出并归口.
本标准起草单位：中国计量科学研究院.
本标准主要起草人：王海、王梅玲、张艾蕊、宋小平.
