目录长度至200mm一、二等标 概述.准玻璃线纹尺检定规程JJG73-94
（1)Verification Regulation of Glass代替JJG73-83 二检定项目和检定条件（2）Line Standard for Moasuring Length 三检定要求和检定方法（2）up to 200 mm(Grade I & I) 四检定结果的处理(14) 附录 附录1各种温度的饱和蒸汽压(15) 附录2测量环境下脉冲当量Q.的计算实例（16)本检定规程经国家技术监督局于1994年7月12日批准，并自1995 附录3光电比较仪主要项目的检定要求(17)年1月1日起施行， 附录4保护玻璃厚度H的计算..(18)
归口单位：中国计量科学研究院
起草单位：中国计量科学研究院
本规程技术条文由起草单位负责解释，
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本规程主要起草人：长度至200mm一、二等标准 王签著（中国计量科学研究院）玻璃线纹尺检定规程 参加起草人：本规程适用于新制造，使用中和修理后的长度至200mm一、二 江德宝（中国计量科学研究院）等，以及作国内外比对用基准尺的检定， 蒋度（中国计量科学研究院）一概述
一、二等标准玻璃线纹尺（以下简称玻璃尺），用光学玻璃制造， 其温度线膨胀系数a10×10-℃"'，横截面为矩形，在刻度面上刻 有间隔为1mm的刻线.在始刻线（即零刻线）和末端刻线外侧2mm 处，沿刻线中心位置上各刻有1mm长的纵轴线，任意两刻线间沿织 输线方向的距离，称为两刻线之间的长度， 玻璃尺应胶合有用同样材料制成，并具有相同技术要求的保护数 璃。
其长度和宽度与破璃尺相同，厚度应按附录4计算
图 2一保护玻璃一玻璃尺 A-尺的厚度“白尔支点距离 B一尺的宽度 H一保护玻璃的厚度
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表1 序号检定项目主要检定条件检定类别
新制的你理后使用中 养观故大、目则++ 外影尺寸游标卡尺、钢直尺+ E丑度线容条系款科式织动或横动比校仪+ 4套面组物理干涉型微镜++ 图25购度面的平面度本面干涉仅或一级本面平晶++ L一尺坯的长度6的平行度则度面与年期度面千分+ 一前线区的长度7别线质量80信微赁+ 一刻线区的宽度当线宽度及长度读数小于1um的测微發货 根据线纹尺检定系统中的规定，检定结果的总不确定度如下，其及万证工具程微 置信水平0,99.全长的年变化是激光干步比关仪或光电比驶仪 U=(0,1+0,5L)μm,1长度的检定缴光干涉比长仪或光电此校权 一等玻璃尺注：责中“+”表示应检定， 二等玻璃尺U=(0,2+1.5 L）μm,-”去示可不检定， 式中L被测长度，单位为m.使司中的玻离尺不允许有影响检定和使用的缺陷， 一、二等玻璃尺用激光干涉比长仪检定。
二等玻璃尺也可用光电 比较仪检定，1.1.2检定方法：在白识灯照明下，用6倍放大镜观察。
一、二等玻璃尺主要用于检定较低等级的玻璃尺或其它计量器1.2玻璃尺（包括保护玻璃）的非刻度雷 具，也可以检定万能工具显微镜，线纹比较仪等精密计量仪器，其外1.2.1要求：不能有影响透光、对准等影响测量的缺陷。
形如图1所示。
1.2.2检定方法：在白炽灯照明下，用6倍放大镜观察检查。
1.3在玻璃尺的一个侧面上刻有尺号、材科名称、厂标、出厂 二检定项目和检定条件年月，以及“白塞尔”支点的标记、0端和末端的标志。
一、二等玻璃尺的检定项目和主要检定条件如表1所示：1.3.1要求：白塞尔支点的距离L，见图1.按公式（1）计 算 三检定要求和检定方法1=0,559 38 L(1) 1外观式中L尺坏的长度. 1.1玻璃尺的刻度面1.3.2检定方法：用钢直尺直接测量。
1.1.1要求：新制的玻玻尺在两抛光面的刻线区不应有霉点、麻1.4零刻线和末刻线分别距玻璃尺端边为15mm， 点、擦伤、气泡等缺陷，玻璃尺和保护玻璃之间的胶合层不能脱胶.2外形尺寸
共18页第4页JJG73-94 JJG73-94共18页第5页 2.1要求：见表2.表3
单位：mm敬璃尺长度项目12 表2mm导级刻度面和非则度面刻度面与非刻度面 剩度面上刻线玻璃尺及保护尺的平面度（μm）的平行度（gm） 肢聘尺长度区范围厚度A宽度B长度L200-1.220
长×宽尺寸公差尺寸公差尺寸公差007≤1,506 100105×310±0.320-0.3130-1 200205×32306刻线质量
6.1要求：刻线边缘应清晰笔直，不得有断线、毛刺的现象，相 2.2检定疗法：用游标卡尺测量玻璃尺坏的宽度和高度，用钢直互间要平行，刻线的宽度、长度要一致，黑度均匀， 尺测量尺还的长度。
6.2检定方法：在不低于80倍的显微镜下观察。
3温度线膨胀系数7刻线宽度和长度 3.1要求：抽检一、二等玻璃尺的材料，在+15~+30℃的温度7.1要求：线宽为6土1μm，每条线宽的均匀性及各条刻线宽度 区间测量其湿度线影胀系数，检定结果的不确定度U.应小于的一致性不得超过1μm，刻线长度为0.4mm，其公差为土0.05mm， 0,1×10-*℃-'.7.2检定方法：用分度值不大于1um读数显微镜测量线宽，在 3.2检定方法：用测量温度线膨胀系数的专用设备，尺长的首、中、尾三处抽检，刻线的长度用万能工具显微镜测量。
3.3玻璃尺温度线膨账系数的偏差范围要求如下：8纵轴线的长度和宽度 =±0,5×10℃-8.1要求：分别距0刻线和末端刻线2mm，其位置在刻线长度 4表面粗糙度的一半处，各刻一条纵轴线，长度1mm，线宽为6±1um， 4.1要求：刻度面与非刻度面的表面粗糙度不应低于Rz0.05μm，8.2检定方法：用万能工具显微镜测量纵轴线的线长和线宽。
侧表面不应低于Rz10μm，9纵轴线想象的连线与刻线的垂直度 4.2检定方法：用干涉显微镜测量刻度面的粗糙度，用轮屠仪测9.1要求：不得超过3'. 量非刻度面的粗糙度。
9.2检定方法：用万能工具显微镜在0刻线和末端刻线上检测。
5刻度面和非刻度面的平面度及平行度10破璃尺全长的年变化量 5.1要求：见表3.10.1要求见表4 5.2检定方法：表3中的第1项，用一级波瑞平尺与玻瑞尺表面10.2检定方法：在激光干涉比长仪或光电比较仪上检定。
接触，恒定之后，观看其干涉条纹，也可用平面干涉仪测量破璃尺的11在激光干涉比长仪上检定一、二等玻璃尺的长度 平面度，11.1要求 表3中的第2项用千分尺测量玻璃尺的两端，测出其两端的差111.1激光干涉比长仅需经检定，并能满足检定一、二等玻调 值.尺总不确定度的要求；玻聘尺已在恒温室内放置24h以上，
共18页第6页JJG73-94 JJG 73-94共18页第7页 表4表5 等级r玻璃尺全长（mm）尤许年变化量（μm）婴求室内温度对20°℃一次则量中的尺题一次两量中保湿罩内
100<.0.15等别的允许留差（℃）故动（℃）空气湿度波动（℃） -等200<0.20一等±0.5<0.03≤0.04
100≤0,35二等±0.8<0.08≤0.08 二等200<0,50
11.4用二踪示波器检查激光干涉条纹的李沙育图形，其正、余 弦信号相位差应为90℃. 11.1.2玻璃尺安装前，应该用特级长丝脱脂棉酒精或酒精和11.5调整激光稳频器，将激光频率稳定在规定的频率上， 乙醚的混合液，将两抛光面擦洗干净，但要注意不得使酒精渗入胶合12玻璃尺的温度测量 层.12.1要求：温度测量的总不确定度应符合U≤0.02℃，其它要 11.2检定方法求见表5. 11.2.1玻璃尺按“白塞尔”支点支承于工作台的支架上，玻璃12.2测量方法 尺的物画应与可动立体棱镜的棱尖等高；尺面上的压板受力要轻，并12.2.1记录玻璃尺测温传感器的温度值 且要一致，12.2.2算出温度对长度的修正值 11.2.2在玻璃尺的侧面贴上一个测温传感器，=a(20-)(2) 11.2.3调整工作台上支承架和显微镜升降机构，使玻璃尺的两式中a-破璃尺温度线膨胀系数； 端刻线在显微镜视场内清晰可见，并使玻璃尺的纵轴线与工作台的运L-被测长度. 动方向平行，调好后，应有另一检定员复查，13空气折射率的测量 11.2.4调整光电显微镜的两个狭缝宽度，使之与玻璃尺的刻线13.1要求：不确定度U<1×10-1 象的宽度相适应。
13.2测量方法 11.2.5双狭缝的光电显微镜需调整光电显微镜上两狭缝的相对a应用爱特伦（Edlen）公式 位置，在示波器上呈现的代表刻线的两相等的钟形脉冲信号的交点在借助于测温装置、气压计、湿度计分别测出检定环境下的空气温 幅值的7/10处，度t、气压P、湿度f，求出与正常状态（t=20℃；P=101325Pa 11.2.6用示波器检查刻线输出信号，要求光电显微镜接收的每{=1333Pa）时折射率的差值，其测量长度的修正量为： 条刻线的信号在玻璃尺的全长范围均应相等。
△l=（92,9（1-20）-0,268（p-101 325）+0,042(f-1333））×10-L 11.2.7调整完毕后，温度至少恒定2h，待温度达到表5中第(3) 1项要求时，方可进行长度检定。
式中L-被测长度， 11.3涨光干涉信号应符合激光干涉比长仪检定规程的要求，公式（3）根据爱特伦（Edlen）原始公式微分所得，若某地区的...
