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GB/T 46223-2025 微束分析 分析电子显微术 电子能量损失谱能量分辨率的测定方法.pdf

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中华人民共和国国家标准

GB/T46223-2025

微束分析分析电子显微术 电子能量损失谱能量分辨率的测定方法

Microbeam analysis-Analyticalelectron microscopy-Method forthedetermination ofenergyresolution for electron energy loss spectrum analysis

(ISO23420:2021.MOD)

国家标准化管理委员会 国家市场监督管理总局 发布

目次

前言1范围2规范性引用文件3术语和定义4符号和缩略语5参考物质及其能量值的测定5.2能量标尺校准参考物质的选择 5.1概述5.3在XPS中测量石墨中的结合能6能量分辨率的测量程序6.1概述6.2结合能的测定6.3仅器和试样准备 6.4第一能量步长(E)的校准6.5用能量步长E:渊量第二参考物质靠近零损失峰的谱峰Ecr 106.6第二能量步长(E)的校准 II6.7测量校准后的能量分辨率(△E) 6.8记录项 127能量分辨率测量结果的不确定度 14 13附录A(资料性)能量分辨率的定义 15附录B(资料性)与XPSC1s值对应的EELS碳K边位置的确定方法讨论 16B.1 概述 91B.2 细则..附录C(资料性)能量分辨率测定程序实例 18C.2样品.. C.1 概述 18C.3试验条件与结果 18 6参考文献

前言

本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定起草.

本文件修改采用ISO23420:2021《微束分析分析电子显微术电子能量损失谱能量分辨率的测定方法》.

本文件与ISO23420:2021的技术差异及其原因如下:

一增加了对XPS谱仅校准的要求(见5.3和6.2.2).以适应我国标准使用的实际情况:一增加了电子能量损失谱采集时进行相对厚度检查的推荐值(见6.4.3和6.5.1),增强可操作性;删除了文中并未使用的“采集时间”,并将表示试样厚度的符号由d改为(见第4章),以符 合本领域使用惯例:删除了文中未使用的术语“儿何因子”.以符合GB/T1.1一2020相关规定;一删除了文中未使用或仅使用一次的CCD、CFE、CMOS、CRM、EEL、GUM、S/TEM等缩略语和表示采集时间的:和累加次数x等符号,以符合GB/T1.1一2020相关规定.

本文件做了下列结构调整:

一ISO23420:2021第5章的相关内容调整至附录A.使结构更清晰,符合中文阅读习惯;一更改了附录的顺序,将原附录A调整至附录C,使结构更清晰,符合中文阅读习惯.

本文件做了下列编辑性改动:

一更换了附录A(现为附录C)中的能量分辨率测定程序实例,增加了电子能量损失谱采集时进

请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任. 行相对厚度检查的步骤,以增加标准易用性.本文件由全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归口.本文件起草单位:北京化工大学、中国科学院化学研究所.本文件主要起草人:洪崧、王岩华.

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