中华人民共和国国家标准
GB/T47753-2026
微机电系统（MEMS)技术车规级 MEMS半导体气体传感器技术规范
Micro-electro mechanical systems(MEMS） technology-Technical specification ofautomotive MEMS semiconductor gas sensor
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布
目次
前言1范围2规范性引用文件3术语和定义4分类.5基本参数5.1工作温度范围5.2功能执行状态等级 5.3工作电压5.4工作环境要求6性能要求6.1外观6.2外形及尺寸6.3零点漂移6.4响应时间6.5恢复时间6.6灵敏度6.7灵敏度漂移6.8重复性6.9长期稳定性 6.10 环境耐受性II°9 机械耐受性6.12 方位灵敏度6.13 高浓度气体耐久性6.14 抗干扰性6.15 耐硅中毒性能6.16 盐雾试验6.17电磁兼容性.7试验方法7.2一般性能检测 7.1试验大气条件7.3零点漂移试验
7.4响应时间试验
7.5恢复时间试验7.6灵敏度试验7.7灵敏度漂移试验7.8重复性试验 6.7.9长期稳定性试验7.10环境耐受性试验 107.11机械耐受性试验 117.12方位灵敏度试验7.13高浓度气体耐久性试验7.14抗干扰性试验 117.16盐雾试验 7.15耐硅中毒性试验 117.17电磁兼容性试验 11 12附录A（资料性）静态气体浓度配制试验箱与气体浓度静态配制方法 13A.1静态气体浓度配制试验箱 13A.2气体浓度静态配制方法 13附录B（资料性）动态气体浓度配制试验箱与气体浓度动态配制方法 15B.1动态气体浓度配制试验箱 SLB.2气体动态配制方法 15参考文献 16
前言
本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草.
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本文件由全国微机电技术标准化技术委员会（SAC/TC336）提出并归口.
本文件主要起草单位：苏州慧闻纳米科技有限公司、中机生产力促进中心有限公司、东风汽车集团股份有限公司、比亚迪汽车工业有限公司、上海矽睿科技股份有限公司、北京信息科技大学、重庆渝微电子技术研究院有限公司、北京智芯微电子科技有限公司、湖北省产品质量监督检验研究院、北京智芯传感科技有限公司、机械工业仪器仪表综合技术经济研究所、武汉理工大学、北京大学南昌创新研究院、 东南大学、无锡芯感智科技股份有限公司、苏州市计量测试院、上海芯物科技有限公司、无锡华润上华科技有限公司、华中科技大学、苏州感闻安全科技有限公司、中国汽车技术研究中心有限公司.
本文件主要起草人：孙旭解、张平平、李根梓、洪志强、孙亚轩、张幸伟、尤睿、徐冬梅、方东明、姚远、张亚婷、朱敏杰、刘俐、胡永阴、陈得民、魏向阳、周再发、杨绍松、耿彦红、王家聪、漆奇、段国韬、柳亮、田鑫、冯军、姚鹏、曹冬冬.
