中华人民共和国国家标准
GB/T 28159-2025代替GB/T281592011
电子级磷酸
Electronic grade phosphoric acid
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布
前言
本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草.
本文件代替GB/T28159-2011《电子级磷酸3，与GB/T28159-2011相比，除结构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下：
a）更改了电子级磷酸的规格等级（见4.2，2011年版的4.2）；b）更改了电子级磷酸外观的测试方法（见5.2，2011年版的5.3）；c）增加了电子级磷酸含量用电位滴定仅和密度仅测试的方法（见5.3.2.5及5.3.3）；d）增加了色度项目及检测方法（见5.4）； e）更改了电子级磷酸易氧化物的测试方法（见5.5，2011年版的5.5）；f） 更改了电子级磷酸金属离子的测试方法（见5.6，2011年版的5.6）；h）更改了电子级磷酸颗粒的测试方法（见5.8，2011年版的5.8）：i）增加了挥发酸项目及检测方法（见5.9）.
g）更改了电子级磷酸氯化物、硝酸盐、硫酸盐的测试方法（见5.7.2011年版的5.7）；
请注意本文件的某些内容可能涉及专利，本文件的发布机构不承担识别专利的责任.
本文件由全国半导体设备和材料标准化委员会（SAC/TC203）提出并归口.
本文件起草单位：中国电子技术标准化研究院、湖北兴福电子材料股份有限公司、贵州磷化（集团）有限责任公司、江阴江化微电子材料股份有限公司、江苏美阳电子材料有限公司、天富（江苏）科技有限公司、西安吉利电子新材料股份有限公司、信联电子材料科技股份有限公司、广西川金诺化工有限公 司、江苏澄星磷化工股份有限公司、云南省化工产品质量监督检验站、联仕新材料（苏州）股份有限公司、湖北三宁化工股份有限公司、广西钦州志诚化工有限公司、眉山胜科电子化学有限公司、晶瑞电子材料股份有限公司.
聂新宇、张宝帅、胡国涛、贾成林、陈伟、徐海圣、张淑娟、王琴、姚莎、李万清、雷惠宪、李全东、叶瑞、贺兆波、 本文件主要起草人：曹可慰、李少平、史泽远、赵俊莎、姜飞、陈惠云、顾玲燕、吴怡然、李祥庆、苏守进、黄如林、张永萍、黄俊群、钱森林、王洪华.
本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为：
2011年首次发布为GB/T28159-2011；
本次为第一次修订.
snc
电子级磷酸
1范围
本文件规定了电子级磷酸的要求、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、安全等，并描述了相应的试验方法.
本文件适用于半导体集成电路、芯片、显示面板等行业用的电子级磷酸.
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款.其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件：不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件.
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3术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义.
4要求
4.1外观
电子级磷酸应为无色透明液体.
4.2规格
于8寸集成电路行业、E3级主要用于12寸集成电路行业. 电子级磷酸分为E1级、E2级、E3级共3个等级，其中E1级主要用于显示面板行业、E2级主要用
