中华人民共和国国家标准
GB/T 42597-2023/IEC 62047-20:2014
微机电系统（MEMS）技术 陀螺仪
Micro-electromechanical systems technology-Gyroscopes
（IEC62047-20:2014.Semiconductor devices-Micro-electromechanicaldevicesPart 20:Gyroscopes IDT)
国家标准化管理委员会 国家市场监督管理总局 发布
目 次
前言1范围2规范性引用文件3术语和定义4基本评级和特征4.1陀螺仪的分类4.3正常工作额定值 4.2绝对最大额定值4.4性能参数5测量方法5.1 标度因数5.2 交叉轴灵敏度“ 155.3 零偏. 185.4 输出噪声... 275.5 带宽 315.6分辨率 98附录A（资料性）陀螺仪特性测量值的准确度 38参考文献 69
前言
本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分；标准化文件的结构和起草规则》的规定起草.
本文件等同采用IEC62047-20：2014半导体器件微机电器件第20部分：陀螺仪》.
本文件做了下列最小限度的编辑性改动：
a）为与现有标准协调，将标准名称改为《微机电系统（MEMS）技术陀螺仪》：b）纠正了IEC62047-20：2014原文中的错误：更正了图18中宽带噪声范围的标注：c）纠正了IEC62047-20：2014原文中的错误：更正了公式（20）和公式（21）的运算符号.
请注意本文件的某些内容可能涉及专利，本文件的发布机构不承担识别专利的责任.
本文件由全国微机电技术标准化技术委员会（SAC/TC336）提出并归口.
本文件起草单位：苏州市质量和标准化院、中机生产力促进中心有限公司、工业和信息化部电子第五研究所、东南大学、苏州市标准化协会、北京航天控制仅器研究所、华东光电集成器件研究所、四川富生电器有限责任公司、中国合格评定国家认可中心、北京微元时代科技有限公司.
王志远、闫桂珍. 本文件主要起草人：沈俊杰、李根梓、顾枫、张硕、董显山、周再发、来萍、邢朝洋、王晓臣、张运昌、
微机电系统（MEMS）技术陀螺仪
1范围
本文件规定了陀螺仪的术语和定义、额定值、性能参数及测量方法.陀螺仪主要用于消费电子、工业和航空航天等.陀螺仪广泛采用MEMS和半导体激光器技术.
2规范性引用文件
本文件没有规范性引用文件.
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件.
3.1 转台rotating table速率转台rate table测量过程中装载陀螺仪的旋转装置.
地球自转速率earthrate
注：根据国际地球自转和参考系统服务（IERS）的规定，地球在惯性空间中的角速率由恒星日定文，为23小时56分 由于地球的自转而在惯性空间中产生的角速率.站 (http;:/ .iers org)
钟4.098903691秒，因此，地球在供性空间中的角建率约为15.04/h.有关定义的详细信息，请参阅IERS网
标度因数scale factor
陀螺仪输出电压或输出数字信号与加载角速率的比值，单位为V/[（）/s]或bit/[（°）/s].
4基本评级和特征
4.1陀螺仪的分类
表1为按应用领域分类的陀螺仪的用途.
表1陀螺仪的分类
类别 内容1 主要用于消费类产品，对零偏不作要求2 主要用于工业用途.对零偏设定适当的取值范围3 主要用于航空航天用途，可检测地球转速
