中华人民共和国国家标准
GB/T10117-2021代替GB/T10117-2009
高纯锑
High purity antimonium
国家标准化管理委员会 国家市场监督管理总局 发布
前言
本文件按照GB/T1.1-2020(标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定起草.
本文件代替GB/T10117-2009《高纯3,与GB/T10117-2009相比,除结构调整和编辑性改动外,主要技术变化如下:
a)更改了适用范围(见第1章,2009年版的第1章):b)更改了化学成分中杂质元素As、Au、Pb的要求,增加了B、Na、Al、Ca、Ga、Sn杂质含量的要求(见5.1,2009年版的3.2);c)增加了关于Sb含量、杂质含量总和的说明(见表1): d)更改了外观质量的要求(见5.2,2009年版的3.3):e)更改了试验方法的内容(见第6章,2009年版的第4章);f)更改了检查和验收的内容(见7.1.2009年版的5.1);g)更改了组批的规定(见7.2,2009年版的5.2);i) 更改了取样、制样的要求(见7.4,2009年版的5.3);j)增加了化学成分检验结果数值修约与判定的要求(见7.5.1);k)更改了外观质量的检验结果判定(见7.5.3,2009年版的5.4);m)删除了具体包装规格的要求(见2009年版的6.1.1); 1)更改了标志的内容(见8.1 2009年版的6.2);n)删除了说明事项(见2009年版的6.5);o)更改了随行文件的内容(见8.5,2009年版的6.6).
h)增加了检验项目的内容(见7.3);
请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任.
化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口. 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准
本文件起草单位:峨眉山市峨半高纯材料有限公司、峨嵋半导体材料研究所、广东先导稀材股份有限公司、有研国晶辉新材料有限公司、云南临沧鑫圆储业股份有限公司、江苏泰烯新材料有限公司.
本文件主要起草人:张程、朱君、黎亚文、雷聪、曾洪、肖伟微、李强、张胜、乐卫华、黄文文、柴晨、
普世坤、何建军.
本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为:
"1988年首次发布为GB/T10117-1988,2009年第一次修订;
一本次为第二次修订.
高纯锑
1范围
货单内容. 本文件规定了高纯梯的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件及订
本文件适用于以工业锐为原料,经氯化、精馏、氢气还原、真空蒸馏、区域熔炼或直拉提纯生产工艺制备的高纯锐.
注:高纯主要用于制备Ⅲ-V族化合物半导体材料、高纯合金、热电致冷元件,以及用作硅、错单品的掺杂剂.
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款,其中,注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括的修改单)适用于 本文件.
GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定
YS/T35高纯娣化学分析方法镁、锌、镍、铜、银、镉、铁、硫、砷、金、锰、铅、、硅、硒含量的测定高质量分辨率辉光放电质谱法
3术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义.
4分类
高纯娣按照化学成分分为Sb-05Sb-06两个牌号.
5技术要求
5.1化学成分
高纯锑的化学成分应符合表1的规定.
表1化学成分
牌号 Sh-05 Sb-06Sb含量’不小于 666*66 6566′66化学成分 %(质量分数) 杂质含量,不大于 B 0 1 0 0110% Na 0 5 0 1
表1化学成分(续)
牌号 50-9S Sb-06Mg 0.2 0 05A1 0.5 0 05s 1.0 0.10.5 0.1Ca 0 5 0.1Mn 0 05 0 01Fe 0 5 0 05Ni 0.2 0 05Cu 0 05 0 01化学成分 杂质含量,不大于 10% Zn 0 5 0 05(质量分数) Ga 0 1 0 01As 1.0 0 1Ag 0 05 0 01Cd 0 5 0 01Sn 0.5 0 05Au 0 05 0.01Pb 0.2 0 020.2 0 02Bi杂质含量总和,不大于 10% 10Sh含量为100%减去杂质含量总和的余量.杂质含量总和为所测杂质元素含量的实测值之和包含但不仅限于表中所列奈质元素,需方要求提供表中以外的其他杂质元索检测数据时,可由供需双方协商.
5.2外观质量
高纯锐外观呈银白色金属光泽,无氧化色斑.
5.3其他
需方如对高纯锐有特殊要求时,由供需双方协商确定并在订货单中注明.
6试验方法
6.1高纯的化学成分中Mg、Si、S Mn、Fe、Ni Cu、Zn、As、Ag、Cd,Au、Pb、Bi 含量按照YS/T 35 的2
规定进行测定,B、Na、Al、Ca、GaSn及其他元素含量的测定方法见YS/T35.6.2高纯锑的外观质量在日光灯下目视检查.
7检验规则
7.1检查和验收
7.1.1产品由供方或第三方进行检验,保证产品质量符合本文件及订货单的规定.7.1.2需方可对收到的产品按本文件的规定进行检验,如检验结果与本文件及订货单的规定不符时, 应以书面形式向供方提出,由供需双方协商解决.属于外观质量的异议,应在收到产品之日起一个月内提出:属于化学成分的异议,应在收到产品之日起两个月内提出.如需仲裁,应由供需双方协商确定.
7.2组批
批产品不超过100kg. 产品应成批提交验收.每批应由同一原料、同一工艺、同一周期生产的同一牌号的高纯组成.每
7.3检验项目
每批产品应对化学成分、外观质量进行检验.
7.4取样及制样
7.4.1化学成分的检验每批随机抽取不少于总量(质量分数)1%的样品(批次质量低于10kg时,抽取0.1kg)进行,并将其制备成符合辉光放电质谱法检测设备进样的规格.7.4.2外观质量的检查每批逐瓶或逐个最小包装单元进行.
7.5检验结果的判定
7.5.1化学成分检验结果的数值修约规则和判定方法按GB/T8170的规定进行,修约数位应与表1规定或供需双方商定的极限数位一致,判定方法采用修约值比较法进行. 7.5.2化学成分的检验结果不合格时,判该批产品不合格.7.5.3外观质量的检验结果不合格时,判该包装瓶或该最小包装单元产品不合格.
8标志、包装、运输、贮存和随行文件
8.1标志
8.1.1产品包装瓶外应张贴标签,并注明:
a)产品名称;b)牌号:c)批号;d)净重;e)出厂日期.
8.1.2产品包装箱外应注明: a)供方名称: