中华人民共和国安全生产行业标准
AQ3065-2025
多晶硅安全生产规范
Safety specification for polycrystalline silicon production
中华人民共和国应急管理部 发布
目次
前言1范围2规范性引用文件3术语和定义4基本要求4.1设计通用要求 4.2管理要求4.3证实方法 35生产安全 35.1合成5.2冷氢化和精馏提纯5.3三氯氢硅还原和尾气干法回收 5.4二氯二氨硅反歧化5.5硅烷制备 D5.6硅烷还原5.7 硅烷热分解5.9氯硅烷和硅烷尾气处理 5.8租品后处理5.10证实方法6储存安全6.1氯硅烷储存6.2硅烷储存6.3回收硅粉储存 6.4证实方法7应急处置
前言
本文件的全部技术内容为强制性.
本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草.
请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任.
筹管理.
本文件由全国安全生产标准化技术委员会化学品安全分技术委员会（SAC/TC288/SC3）技术归口及咨询.
本文件起草单位：中国氟硅有机材料工业协会、四川永祥股份有限公司、注苏中能硅业科技发展有限公司、华陆工程科技有限责任公司、中国化学品安全协会、北京国化新材料技术研究院有限公司、中石化安全工程研究院有限公司、陕西有色天宏璃科硅材料有限责任公司、新疆大全新能源股份有限公司.
本文件主要起草人：李斌、杨武明、韩洪流、刘继画、辛一男、王路、孙志若、白悲强、吴德智、罗周、王世棋、郑东吴、程长进、云、李超、张遵、陈江龙
本文件为首次发布
多晶硅安全生产规范
1范围
本文件规定了多品硅安全生产的基本要求、生产安全、储存安全及应急处置的要求.本文件适用于采用三氯氢硅还原法工艺、硅烷法工艺生产多品硅企业的安全运行.
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款，其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件：不注日期的引用文件，其最诉版本（包括的修改单）适用于本文件.
GB4962氢气使用安全技术规程 GB11984化工企业氯气安全技术规范GB 12158 防止静电事故通用要求GB 15577 输尘防爆安全规程GB 17681 危险化学品重大危险源安全监控技术规范GB/T29639 GB 18218 危险化学品重大危险源瓣识 生产经营单位生产安全事故应急预案编制导则GB 30077 危险化学品单位应急救援物资配备要求GB 30871 危险化学品企业特殊作业安全规范GB 36894 GB 37241 危险化学品生产装置和储存设施风险基准 可燃性粉尘情化安全规范GB/T 37243 危险化学品生产装置和储存设施外部安全防护距离确定方法GB38144眼面部防护应急喷淋和洗眼设备GB/T44394化学品粉尘爆炸危害识别和防护指南GB50160石油化工企业设计防火标准 GB50052供配电系统设计规范GB/T50493石油化工可燃气体和有毒气体检测报警设计标准GB/T50779石油化工建筑物抗爆设计标准SH3009石油化工可燃性气体排放系统设计规范
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件.
3. 1
二氟二氢硅反歧化dichlorodihydrosilane reproportionationreaction
二氯二氢硅和四氯化硅在一定条件下重整生成三氯氢硅的反应.
3.2
冷氢化工序和合成工序产生的含有一定化剂的二次硅粉，以及还原工序等副产的细硅粉.
AQ 3065-2025
3. 3
硅烷中的氢原子部分或全部被氯原子取代后的物质统称.注：氧硅烷通常包括四氧化硅、三氯氢硅（别名三氯硅烷、硅仿、硅氯仿）、二氯二氢硅（别名二氯硅烷）、一氯三氮硅.
4基本要求
4.1设计通用要求
4.1.1下列存在硅粉爆炸风险的区域或设备应采取符合GB15577、GB/T44394规定的情化、抗爆、泄爆、隔爆、消除静电等预防措施，并按照GB37241选择情化方法：b）冷氢化和合成工序中的硅粉罐、硅粉过滤器、集尘罐、回收硅粉罐等设备： a）硅粉研磨作业区域：c）其他可能存在硅粉爆炸风险的区域.4.1.2合成、冷氢化、渣浆处理工序输送硅粉的管道应采用内衬耐磨材料、管道加厚、大半径弯头等耐4.1.3氢气排气筒，放空管的高度设置应符合GB50160的规定，排气简、旗空管应选用金属或金属衬 磨蚀措施.里材质，并设置阻火器或液封.氢气管道的选材、数设及氢气使用应符合GB4962的规定.4.1.4存在超压风险的工艺系统、设备，应按照GB50160设置泄压设施.涉及硅粉或腐蚀性物料的工艺系统、设备，应在安全阀前设置爆片或在安全阀出人口管道上采取吹扫等防堵措施.4.1.5涉及硅烷的事故泄放气，应排放至硅烷事故排气系统：事故排气系统尾气排放口高度和辐射半 径应符合SH3009的规定.4.1.6液态氯碰烷、硅烷的输送应采用无轴封泵.4.1.8采用水与氯硅烷物料换热的热交换器，应在热交换器水介质出口管道上设置电导仪等用于检 测氯硅烷泄漏的仪表.4.1.9氯硅烷和硅烷罐组设置应符合GB50160的规定，其中硅烷储罐与其他设施的防火间距应按照半冷冻式液化经储疆的间距要求确定.4.1.10涉及氢气、硅烷、二氯二氢硅等气体的场所，应具备通风条件.4.1.12应采用压力储罐储存氯硅烷，罐区内应至少设置1台容积不小于单个最大氯硅烷储罐容积的 4.1.11回收硅粉的排出应在密闭或情性条件下进行，浆渣应在密闭条件下分离或水解.事故储罐.闭功能的充装接头.报警功能.4.1.15采用氮气保护且可能出现欠氧的封闭式场所应设置氧气浓度探测器.4.1.16构成重大危险源的新建、改建、扩建生产装置和储存设施应设置符合GB17681规定的重大危4.1.17下列设备、系统的供电负荷应符合GB50052规定的一级供电负荷中的特别重要负荷要求： 险源安全监控系统.a）三氧氢硅还原炉电极冷却水泵：b）用于硅烷的冷却系统的维持机组：c）尾气洗涤、冷凝、淋洗等处理系统； d）事故氯回收系统.
4.1.14氯硅烷、硅烷储罐应设置温度、压力、液位连续监测仪表，并具备温度、压力高报警和液位高、低2
