中华人民共和国国家标准
GB/T14592-2014代替GB/T145921993
钼圆片
Molybdenum discs
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布
前言
本标准是按照GB/T1.1-2009给出的规则起草的.
本标准代替GB/T14592-1993（钼圆片》.
本标准与GB/T14592-1993相比，主要有如下变动：
修改了规范性引用文件：增加了电火花线切割和研磨车边类产品的标记和直径允许偏差：修改了检验规则里的相关条款； 修改了钼圆片产品密度要求；增加了产品质量证明书和合同（或订货单）内容要求.
本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）归口.
本标准起草单位：西安瑞福莱钨钼有限公司、宜兴市科兴合金材料有限公司、金堆城钼业股份有限公司.
本标准主要起草人员：淡新国、侯军涛、俞叶、赵娟、石大伟、金波.
钼 圆 片
1范围
本标准规定了钼圆片产品的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同（或订货单）内容.
本标准适用于功率半导体器件及电真空器件等用钼圆片.
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件.
GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限（AQL）检索的逐批检验抽样计划 GB/T3850致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法GB/T4325（部分）钼化学分析方法YS/T660-2007钼及钼合金加工产品牌号和化学成分
3要求
3.1产品分类
3.1.1产品的牌号和状态见表1.
表1
牌号 供货状态 制造方法举例 直径 规格/mm 厚度毛坯（M），退火态 冲-切割 >4 0 0.6喷砂车边（P）退火态 喷砂-车边 >4.0 0.6Mo1 .Mo2 租磨车边（C）退火态 粗磨-车边 10.0 >0.6精磨车边（J）-退火态 精磨-车边 >10 0 >0.6精轧电火花切测（D），退火态 精轧-线切制 >4 0 >0.1Mol 研磨车边（Y)，退火态 研磨-车边 >15.0 ≥0.9
3.1.2产品型号表示方法.
公称直径为20mm.厚度为2mm的Mol牌号的毛还钼圆片产品表示为：Mo1 M20 × 2.0.
示例2:
公称直径为45mm，厚度为3mm的Mo2牌号的喷砂车边铂图片表示为：Mo2P45 × 3 0
示例3：
Mo1C80 × 4 0
示例4：
公称直径为55mm，厚度为2.5mm的Mol牌号的精磨钼圆片表示为：Mol55×2.5.
示例5：
公称直径为55mm，厚度为2.5mm的Mol牌号的电火花切割钼圆片表示为：Mo1D55 ×2.5.
示例6：
公称直径为30mm，厚度为4mm的Mol牌号的研磨车边钼圆片产品表示为：Mo1 Y30 × 4 0.
3.2化学成分
产品的化学成分应符合YS/T660-2007中Mo1，Mo2牌号的要求.
3.3密度
钼圆片的密度不小于10.0g/cm.
3.4尺寸及其允许偏差
3.4.1产品直径及其允许偏差见表2，厚度及其允许偏差见表3.
表2
单位为毫米
直径范围 直径允许偏差毛坪 车边 电火花线切制>10~20 4~10 ±0 10 ±0 10 0 10 ±0 10 ±0 10>20~30 ±0 12 0 10 ±0 10>30~50 ±0 14 0.10 ±0.10>50~80 >80 ±0 16 ±0 16 0 10 0.10 ±0 10 ±0 10注：其他直径产品公差由供需双方协商确定.
表3
单位为毫米
厚度允许偏差厚度范围 毛坯喷砂 租磨 精磨 研磨0 10~0 60 ±0 04 0 1>0.60~2.00 ±0.12 ±0.10 ±0 08 0.1>3 00~4 00 >2 00~3 00 ±0 15 ±0 17 ±0 10 ±0.12 ±0 08 ±0 10 0.1 0 1>4 00~6 00 ±0.20 ±0 14 ±0 10 0 1注：其他厚度产品公差由供需双方协商确定.
3.4.2毛坯产品平面度不大于0.100mm：粗磨产品平面度不大于0.025mm；精磨产品平面度不大于0.015mm：研磨产品平面度不大于0.010mm.3.4.3粗磨产品表面平行度不大于0.030mm：精磨产品表面平行度不大于0.020mm：研磨产品的表面平行度不大于0.010mm.
3.5外观质量
3.5.1产品表面不允许有鼓泡、夹杂、裂纹及超出厚度允许偏差的斑点、凹坑、划伤.3.5.2产品边缘应整齐，不允许有分层、崩边现象，允许有局部的轻微的不超过允许偏差的冲痕和小3.5.3喷砂产品表面砂痕均匀，无目视可见的斑点、氧化点和残存砂痕. 毛刺.3.5.4磨光产品表面粗糙度及表面缺陷应符合表4规定.
表4
表面租糙度Ra/um 周边粗糙度Ra/xm 表面缺陷品种 不大于 尺寸/mm 间距/mm 数量/个粗磨 6 3 6 3精磨 1.6 6 3 >0.30 5$0.4×0.1研磨 0 63 6 3
3.6腐蚀性能
产品经过腐蚀检测后，表面无亮点凹坑缺陷产生，边缘无分层现象产生.
4试验方法
4.1化学成分分析方法
产品的化学成分分析按照GB/T4325的规定进行.
4.2密度检测方法
产品的密度测定按照GB/T3850的规定进行.
4.3尺寸及其允许偏差测量方法
4.3.1产品的直径和厚度测量采用相应精度的量具测量.4.3.2产品的平面度检测应将钼圆片放在平台上，采用相应精度的量具进行.4.3.3产品的平行度用精度0.010mm的千分尺测量，在相互垂直的方向测量4点任意两点的差值不得超过平行度要求.
4.4外观质量检测方法
产品的外观质量用目视法进行检测：租糙度采用对比块检测.
