中华人民共和国国家标准
GB/T 26112-2010
Micro-electromechanical systemtechnologyGeneral rules for the assessment of micro-mechanical parameters
中国国家标准化管理委员会 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布
前言
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草.
本标准由全国微机电技术标准化技术委员会（SAC/TC336）提出并归口.
本标准起草单位：天津大学、中机生产力促进中心、西安交通大学、大连理工大学、太原理工大学、中原工学院.
本标准主要起草人：胡晓东、丁红宇、刘伟、张革、景蔚宣、蒋庄德、刘冲、张文栋、赵则祥.
微机电系统（MEMS）技术 微机械量评定总则
1范围
本标准适用于企业、研究机构、检测机构从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测及使用. 本标准规定了微机械量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则.
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件.
GB/T26111微机电系统（MEMS）技术术语
3术语和定义
GB/T26111界定的以及下列术语和定义适用于本文件.
3.1
微机械量micro-mechanical parameters
泛指一切与微机械性质和状态相关的物理量，包括几何量、流量、温度、声学、力学和运动等物理量；由于儿何量、流量、温度、声学等物理量进行了专门的分类，因此微机械量是指位移、速度、加速度、振动等运动特性参量，以及与运动特性相关的力学参量.
3.2
微位移Microscale displacement
描述质点在微米级尺度下位置变化的物理量，其大小等于起点至终点的直线距离，方向由起点指向终点.
注1：微结构在受到一定缴励的条件下会产生位置的变化，典型的位置变化有两种形式平移和转动，分别对应线位移和角位移
注2：如果将微结构基底作为一个参考平面与这个参考平面面平行的位移为面内位移，否则称为高面位移.
振动vibration
物体的往复运动.按照往复运动的方向可分为线振动和角振动.评定微结构的振动特性主要包括：振动幅度、谐振频率、振动模态、品质因子，
3.4
残余应力residual stress
在微加工处理完成后，在没有外力的作用下，在微机械结构内部保持平衡而存留的应力，称为残余应力，是内应力、外应力和热应力的综合作用.
3.5
应力梯度stressBradient
微机械结构残余应力在厚度方向的非均匀分布，悬空式微机械结构在下部牺性层释放后会由于残
