中华人民共和国国家标准
GB/T31369-2015
太阳电池用电子级氢氟酸
Electronic grade hydrofluoric acid for solar cells
中国国家标准化管理委员会 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布
目 次
前言1范围3性状 2规范性引用文件4技术要求 3115试验方法6检验规则. 107标志、标签8包装、运输、储存 11附录A（资料性附录） 氢氟酸样品溶液的离子色谱图
前言
本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草.本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出并归口. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任.本标准主要起草单位：江阴润玛电子材料股份有限公司、中国电子技术标准化研究院、英利集团有限公司.本标准主要起草人：戈士勇、何珂、王周霞、王香、史金超.
太阳电池用电子级氢氟酸
1范围
本标准规定了太阳电池用电子级氢氟酸（以下简称电子级氢氟酸）的性状、技术要求、试验方法、检验规则、标志、标签和包装、运输、储存.
本标准适用于电子级氢氟酸.
本标准不涉及使用安全性问题.本标准的使用人应负责建立适当的安全健康条款及使用范围的限制.
2规范性引用文件
件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文
GB/T191包装储运图示标志GB/T601化学试剂标准滴定溶液的制备GB/T602化学试剂杂质测定用标准溶液的制备GB/T603化学试剂试验方法中所用制剂及制品的制备 GB/T6678化工产品采样总则GB/T6682-2008分析实验室用水规格和试验方法GB/T11446.12013电子级水GB15258化学品安全标签编写规定 GB50472-2008电子工业洁净厂房设计规范
3性状
注：腐蚀性：能强烈地腐蚀玻璃等含硅的物料. 电子级氢氟酸为无色、具有刺激性气味的氟化氢水溶液，具有腐蚀性，剧毒.
4技术要求
4.1外观
电子级氢氟酸外观为无色透明液体.
4.2技术要求
电子级氢氟酸的技术要求应符合表1的规定.
表1技术要求
项目 指标E1 E2 E3含量（HF) % >40.0 >40.0 >40.0粒（≥0.5m） 25pes/ml.颗粒（>1.0 μm） pes/ml. 2氯化物（CI）mg/kg硝酸盐（NO）硫酸垫（SO ²） mg/kgmg/kg 05磷酸盐（PO ²）mg/kg氟硅酸盐（SiF.²-） mg/kg 200铝（AI)ng/kg砷（As) 0金（Au) μg/kgpg/kg银（Ag) 10M2/kg 磷(B)μg/kg 20 10 (Ba) ≤10g/kg铍（Be） μg/kg ≤10 50锯（Bi)pg/kg 18 （Ca) 8 (Cd) ng/kgμg/kg 20 10钻 (Co)ng/kg
