中华人民共和国国家标准
GB/T31987-2015
电子工业用气体 锗烷
Gas for electronic industry-Germane
中国国家标准化管理委员会 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布
前言
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草.本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出并归口. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任.本标准起草单位：上海华爱色谱分析技术有限公司、佛山市华特气体有限公司、中吴光明化工研究设计院有限公司、国家化学工业气体产品质量监督检验中心（福建）西南化工研究设计院有限公司.
本标准主要起草人：方华、裴友宏、郭秀丽、林宇巍、陈熔、周鹏云.
电子工业用气体锗烷
1范围
本标准规定了错烷的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运和安全.
本标准适用于氯化储还原、电解氧化的硫酸溶液、错镁合金与盐酸反应等方法得到的储烷产品.它用于化学试剂、制取高纯度错、化学气相淀积、扩散、非晶硅、外延、离子注人等领域.
分子式：GeH
相对分子质量：76.662（按2011年国际相对原子质量计算）.
2规范性引用文件
件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文
GB190危险货物包装标志GB/T3723工业用化学产品采样安全通则GB5099钢质无缝气瓶GB7144气瓶颜色标志GB14193液化气体气瓶充装规定GB15258化学品安全标签编写规定GB 16804 GB/T26571特种气体储存期规范 气瓶警示标签GB/T28726气体分析氮离子化气相色谱法气瓶安全监察规程（2000版）危险化学品安全管理条例（2011版）特种设备安全监察条例（2009版）
3技术要求
错烷的质量应符合表1的要求.
表1技术指标
项目 指标储烷（GeH）纯度（体积分数）/10 > 666°66氢（H:）含量（体积分数）/10- S 50氧（O）氢（Ar含量（体积分数）/10 2氮（N）含量（体积分数）/10 2一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10
表1（续）
项目 指标二氧化碳（CO）含量（体积分数）/10 1水（HO）含量（体积分数）/10 甲烷（CH）含量（体积分数）/10 1颗粒 供需双方商定 3
4试验方法
4.1抽样、判定和复验
4.1.1储烷产品应逐一检验并验收.当检验结果有任何一项指标不符合本标准技术要求时，则判该产品不合格.
4.1.2锗烷采样安全应符合GB/T3723的相关规定.
4.2锗烷纯度
错烷纯度按式（1）计算：
$=100（$$$)×10- ( 1 )
式中：
错烷纯度（体积分数）/10： 氧十氢含量（体积分数）/10；f: 氮含量（体积分数）/10：氧化碳含量（体积分数）/10°；二氧化碳含量（体积分数）/10；"-水含量（体积分数）/10". =甲烷含量（体积分数）/10；
4.3绪烷尾气处理措施
测定错烷中杂质含量时，应有错烷尾气处理措施.
4.4氢、氧（氢）、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷的测定
按GB/T28726规定的切割进样的方法测定锗烷中的氧（氧）、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷含量.
预分离柱：长约2m、内径2mm的不锈钢管，内装约粒径为0.18mm~0.25mm的酸化PorapakQ（一种高分子聚合物），或其他等效色诺柱.
色谱柱：色谱柱I：长约3m、内径2mm的不锈钢管，内装粒径为0.18mm~0.25mm的5A分子筛，或其他等效色谱柱.该柱用于分析氢、氧（氯）、氮、一氧化碳、甲烷含量.
色谱柱Ⅱl：长约2m、内径2mm的不锈钢管，内装粒径为0.18mm~0.25mm的酸化PorapakQ，或其他等效色谱柱.该柱用于分析二氧化碳含量.
标准样品：组分含量的体积分数为（1~5）×10，或与样品其中的组分含量相近，平衡气为氮.
允许采用其他等效的方法测定锗烷中的氢、氧（氢）、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷含量.当以上测定结果有异议时，以本标准规定的方法为钟裁方法.
4.5水含量的测定
GB/T5832.3规定的方法为仲裁方法. 按GB/T5832.3规定的方法或其他等效的方法测定错烷的水含量.当以上测定结果有异议时，以
5标志、包装、贮运及安全
5.1标志、包装及贮运
5.1.1错烷的充装及贮运应符合《气瓶安全监察规程》、《危险化学品安全管理条例》和《特种设备安全 监察条例》的相关规定.5.1.2包装锗烷的气瓶应符合GB5099的规定.5.1.3推荐使用进行内表面处理的气瓶处理后的气瓶应满足本标准的要求.瓶阀出气口连接方式推5.1.4应防止瓶口被污染和泄漏. 荐使用CGA3505.1.5铺烷的充装应符合GB14193的相关规定.5.1.6错烷的包装标志应符合GB190的相关规定，颜色标志应符合GB7144的规定，标签应符合GB16804、GB15258规定的要求.5.1.7包装容器上应标明“电子储烷"字样. 5.1.8瓶装锗烷的最大充装量按式（2）计算：
式中：
-气瓶内错烷的质量，单位为千克（kg）；F，-一错烷的充装系数（F，=0.05），单位为千克每升（kg/L）； V气瓶标明的内容积，单位为升（L）.
5.1.9错烷的保存期限按GB/T26571规定执行.
5.1.10储烷出厂时应附有质量合格证，其内容至少应包括：
一产品名称，生产厂名称，危险化学品生产许可证编号； -生产日期或批号，充装质量（kg）：一本标准号及技术指标，检验员号.
5.1.11锗烷产品应存放在阴凉、干燥、通风的库房内，严禁暴晒，远离热源.
5.2安全警示
5.2.1锗烷在常温常压下为具有剩鼻气味的无色有毒气体，极易燃.气体比空气重，可能沿地面流动，可能造成远处着火.与空气接触时，错烷可能自燃.加热到350℃以上和与氧化剂，如硝酸接触时，错烷发生分解.
5.2.2与错烷接触时，不应使用明火、不应有火花和不应吸烟.若发生火灾，应切断气源，如对周围环 境无危险，让火自行燃尽，其他情况用雾状水，抗溶性泡沫灭火.
注：时间加权平均接触限值：正常8h工作日或40h工作周的时间加权平均含量.
5.2.4错烷刺激眼睛、皮肤和呼吸道，可能对血液有影响，导致血细胞损害.接触可能造成死亡.
5.2.5泄漏时，应迅速撤离危险区域.
5.2.6接触铺烷时推荐使用带有隔绝式呼吸器的气密式化学防护服.
