中华人民共和国国家标准
GB/T33252-2016
Nanotechnology-Performance testing for laser confocal microscopeRaman spectrometers
中国国家标准化管理委员会 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布
目 次
前言1范围仪器结构 术语和定义4要求5测试方法6测试报告附录A（资料性附录） 激光共聚焦显微拉曼光谱仪的构成附录B（资料性附录） 激光共聚焦显微拉曼光谱仪校准用标准样品附录C（资料性附录） 测试报告参考格式参考文献 1
前言
本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草.本标准由中国科学院提出. 本标准由全国纳米技术标准化技术委员会（SAC/TC279）归口.本标准起草单位：中国计量科学研究院、中国科学院半导体研究所、厦门大学、广州计量测试研究院、場场（中国）贸易有限公司
本标准主要起草人：任玲玲、谭平恒、任斌、高思田、定翔、王海燕、濮玉梅.
纳米技术激光共聚焦显微拉曼光谱仪 性能测试
1范围
本标准规定了激光共聚焦显微拉曼光谱仪的术语和定义、仪器结构、技术要求、测试方法等.
本标准适用于以连续激光为激发光源，具有单级、二级或三级光谱仪的色散型共聚焦显微拉曼光谱仪（以下简称仅器）.
本标准不适用于傅立叶变换拉曼光谱仪等非色散型拉曼光谱仅和基于脉冲激光光源的拉曼光谱仪.
2术语和定义
下列术语和定义适用于本文件.
拉曼光谱Raman spectrum/spectra
当物质收到单色辐射能照射时，由于非弹性散射产生的已调制频率的光诺.
构成拉曼光谱的谱线（带）.
拉曼频移Raman shift
拉曼谱线（带）的波数相对于入射单色光束波数的位移.
注：单位方cm
2.4
共聚焦confocal
光路（激发和发射）在两个位置上聚焦.在共聚焦扫描仪中激发光聚焦在样品点表面，面发射光聚焦在针孔上，
2.5
激光共聚焦显微拉曼光谱仪laser confocal microscope Raman spectrometer
以激光为激发光源，将拉曼光谱分析技术与显微分析技术结合起来的一种光谱仪.
3仅器结构
从激光器发出的激光经干涉滤光片到达样品表面激发样品，激发光经瑞利滤光片及共聚焦针孔、狭缝、光栅，最后到达探测器探测拉曼信号.仅器结构示意图见图1.详细内容参见附录A.
说明：
1-激光器；2-干涉滤光片； 半波片：4-瑞利滤光片：偏振片；四分之一波片；8-狭缝： 共聚焦针孔：9光栅；10 探测器：12 样品. 一显微镜：
图1常规激光共聚焦显微拉曼光谱仪结构示意图
4要求
4.1测试条件
环境温度为20℃C～25℃，使用温度波动范围不超过土2℃.相对湿度≤60%.电源电压及冷却水等应符合设备主机及附件要求.
4.2激光器
由于拉曼光谱特殊性的要求，激光共聚焦显微拉曼系统采用的激光器偏振比不低于100：1.激光的线宽不大于标称分辨率的1/20.功率的波动不高于5%.
