中华人民共和国国家标准
GB/T47404-2026
碳化硅单晶
Monocrystalline silicon carbide
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布
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前言
本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草.
请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任.
化技术委员会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC2）共同提出并归口. 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）与全国半导体设备和材料标准
本文件起草单位：北京天科合达半导体股份有限公司、山东天岳先进科技股份有限公司、南京国盛电子有限公司、山西烁科晶体有限公司、广东天域半导体股份有限公司、宁夏创盛新材料科技有限公司、杭州晶驰机电有限公司.
本文件主要起草人：余宗静、彭同华、王波、张红岩、李国鹏、侯晓蕊、丁雄杰、蔡振立、邹宇、娄艳芳、胡建荣、郭森.
碳化硅单晶
1范围
本文件规定了碳化硅单晶的牌号及分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容.
本文件适用于直径不大于300mm的4H及6H碳化硅单晶.
注：产品主要用于制作碳化硅单品抛光片，广泛用于制作电力电子器件、射频微波器件及发光二极管（1ED）发光器件.
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款.其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件：不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件.
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3术语和定义
GB/T14264和GB/T43612界定的术语和定义适用于本文件.
4牌号及分类
4.1牌号
碳化硅单晶的牌号应符合附录A的规定.
