中华人民共和国国家标准 UDC621.882.049 .77:531:7 玻璃及铬版表面平整度的测试方法 GB7238-87 降为SJ/T10858-96 Method of testing suriace flatness of the glass substrate and chromium film 本标准适用于玻璃及以其为基片的铬版表面平整度的测试. 1玻璃及铬版表面平整度的气动测试方法 .1.1测试原理 测试原理见图1.气体在压力下，首先流经减压喷嘴D 接着进入调节室R 浮子阀把压力降到 恒定压，另一部分经喷嘴G流入调节室E 然后离开调节室经管口流出.喷嘴G的横切面积保持 恒定，而管口的气流随被测件表面变化而变化，由此产生的压力差由压力表M记录并按刻度尺读数. R 测试片 00 测试片 p D Po GE 图1 1.2测试仪器 气动测平仪. 1.3测试步骤 1.3.1打开气源阀门，检查气压，如不符合要求，调节阀门，至1.5~2.0压力. 1.3.2轻轻放上标准玻璃，调节校零螺杆. 1.3.3调整至0后，转90°角调0，依次进行四次.此项工作在每次测量前都要进行. 1.3.4调零后，轻取标准平板，放人测试片. 国家标准局1987-02-06批准 1987-11-01实施 1 GB7238-87 1.3.5待指示液面平稳后，偏离零位最大1一μm|μM|为测量值.再转一次90°，取2次 中最大值为该片的平整度值. 1.3.6工作完毕后，关掉气源，用镜头纸擦净支撑点利和喷嘴，并放上保护片. 1.4注意享项 测试片应垂直上下，轻取轻放，严禁在测试台上平行拖动. 1.5测试结果 直接读数，即偏离零位最大的！-um|m|数值. 2玻璃及铬版表面平整度的激光干涉测试方法 2.1测试原理 该仪器与普通干涉式平整度测试仪不同，首先是它的比例间距不是，而是刚好为1μm 因而它 的入射角要小得多，对仪器进行调节，使千涉条纹间距正好相应于1m的高度差.由于该仪器可以任 意调节干涉条纹的位置，因此大大简化了计算. 2.2测试仪器 氨氖激光干涉仪. 2.3测试步 2.3.1接通电源（灯亮），预热数分钟. 2.3.2取下测盘面盒盖，根据样片选择垫片，将被测片小心放在下面两个调整支架点上，然后靠在 垫片上. 2.3.3转动调整旋钮，观察显示的图象，调出干涉环. 2.3.4操作完毕后，关闭电源，盖上测量面盒盖. 2.4注意事项 观察图象时，不要在高于显示面15°处观察，以防射线损伤眼睛. 2.5测试结果 根据图2干涉坏，计算其平整度的数值. 3个环表示平整度偏差3m 平整度偏差为上： dr a 22m 4范围平整度偏差为零 d平整度一个环1m的 边缘倾斜 图2 附加说明： 本标准由中华人民共和国电子工业部提出. 本标准由电子工业部标准化研究所、电子工业部4435厂和航天工业...
SJ/T 10858-1996 玻璃及铬版表面平整度的测试方法.pdf
