GB/T 40566-2021 流化床法颗粒硅 氢含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法.pdf

ICS29.045 CCS H 82 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T40566-2021 流化床法颗粒硅氢含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法 Granular polysilicon produced by fluidized bed method-Determination of hydrogen-Pulse heating inert gas fusion infrared absorption method 2021-10-11发布 2022-05-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T40566—2021 目 次 前言 工 1范围 1 2规范性引用文件 1 3术语和定义 .1 4原理 1 5干扰因素1 6试剂和材料 2 7仪器和设备 .2 8样品制备 2 9试验步骤2 10结果处理 .4 11精密度 .4 12试验报告4 13质量保证与控制 5 附录A(资料性)仪器参考工作条件 6 GB/T40566—2021 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任. 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口. 本文件起草单位：无锡市产品质量监督检验院、上海赛夫特半导体材料有限公司、青海黄河上游水 电开发有限责任公司光伏产业技术分公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、新疆新特新能材料检测中 心有限公司、无锡市分析测试学会、中国电子技术标准化研究院、无锡市计量测试院、乐山市产品质量监 督检验所、洛阳中硅高科技有限公司、中节能太阳能科技（镇江）有限公司、集萃新材料研发有限公司、 常州大学、福建省计量科学研究院、上海材料研究所、苏州博飞克分析技术服务有限公司. 本文件主要起草人：何莉、杨君、王美娟、蒋威、丁彬斌、鲍军、刘晓霞、鲁文锋、王旭辉、王彬、王赶强、 梁洪、楚东旭、邱艳梅、马昀锋、黄国平、王桃霞、薛小强、罗海燕、马冲先、何永强. ...