ICS77.040.10 H22 GB 中华人民共和国国家标雅 GB/T31093-2014 蓝宝石晶锭应力测试方法 Test method for stress of monocrystalline sapphire ingot 2014-12-22发布 2015-09-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T31093-2014 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)和全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口. 本标准起草单位：协鑫光电科技（江苏）有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、北京合能 阳光新能源技术有限公司. 本标准主要起草人：刘逸枫、魏明德、徐养毅、杭寅、肖宗杰. I GB/T31093-2014 蓝宝石晶锭应力测试方法 1范围 本标准规定了蓝宝石单晶晶锭的应力测试方法. 本标准适用于经过加工后直径为50.8mm~200mm的c向蓝宝石晶锭的应力测试，其他尺寸蓝 宝石晶锭（以下简称晶锭）的应力测试可参照使用. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. GB/T14264半导体材料术语 3术语和定义 GB/T14264界定的术语和定义适用于本文件. 4方法提要 蓝宝石为单轴晶体，轴为光轴.使用典型的会聚平面偏振光干涉试验装置，晶体的光轴与切面垂 直，并且和仪器的光轴平行，在会聚光的情况下，会产生干涉，形成锥光图.锥光图由黑十字和同心圆状 的干涉色圈组成，干涉色圈以黑十字交点为中心（光轴出露点），成同心环状，干涉色圈的多少，取决于晶 体的双折射率的大小及厚度. 当晶体局部规则的结构被破坏，产生的应力使得该位置上的光轴方向发生改变，光束通过此位置 时，所得到的锥光图中的黑十字变形，因此可以通过观察晶体各个位置的锥光图来检测晶体的应力. 5干扰因素 5.1晶锭内部有气泡、包裹物等会影响应力的判断. 5.2晶锭加工过程中引起的内部裂纹会影响应力的判断. 6试验设备 应力仪，其典型光路如图1所示.仪器的光学系统由光源(1)发出的光速通过隔热片(2)、聚光 镜(3)、反射镜(4)和起偏镜(5)变为平面振镜，在通过发散镜(7)、台面玻璃(8)后投射到被测试样上，最 后通过检偏镜(10)将看到具有应力特征的锥光图. 1 ...
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