GB/T 42897-2023 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法.pdf

ICS31.200 CCS L 59 中华人民共和国国家标准 GB/T42897-2023 微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法 Micro-electromechanical systems(MEMS)technology- Tensile strength test method for nano-scale membranes of silicon based MEMS 2023-08-06发布 2023-12-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T42897-2023 目 次 前言 Ⅲ 1范围 .1 2规范性引用文件 .1 3术语和定义 1 4试验要求 1 5试验方法 3 附录A(资料性)推荐形变量标尺结构及其指示数值读取方法5 附录B(资料性)纳米厚度膜抗拉强度原位片上试验机体硅工艺制备实例6 附录C(资料性)纳米厚度膜抗拉强度原位片上试验机尺寸建议7 I GB/T42897-2023 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任. 本文件由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)提出并归口. 本文件起草单位：北京大学、中机生产力促进中心有限公司、中国电子技术标准化研究院、北京燕东 微电子科技有限公司、厦门市智慧健康研究院有限公司、宁波瑞成包装材料有限公司、四川富生电器有 限责任公司、深圳市美思先端电子有限公司、无锡韦感半导体有限公司、广州奥松电子股份有限公司、江 门市润宇传感器科技有限公司. 本文件主要起草人：张大成、杨芳、李根梓、顾枫、刘鹏、李凤阳、王旭峰、高程武、陈艺、于志恒、 华璇卿、刘若冰、张彦秀、王清娜、邵峥、李强、宏宇、赵成龙、张宾、李海全. Ⅲ ...