GB/T 42895-2023 正式版 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法.pdf

ICS31.200 CCS L 59 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T42895—2023 微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法 Micro-electromechanical systems(MEMS)technology-Bending strength test method for microstructures of silicon based MEMS 2023-08-06发布 2023-12-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T42895—2023 目 次 前言 Ⅲ 1范围 1 2规范性引用文件 1 3术语和定义1 4试验要求 2 4.1原位片上弯曲强度试验机的设计要求2 4.2原位片上弯曲强度试验机的制备要求 .3 4.3试验环境要求 4 5试验方法4 5.1概述 .4 5.2微结构弯曲强度试验过程 4 5.3微结构弯曲强度试验结果计算5 附录A(规范性)测试装置和测试结构设计尺寸 6 ...