GB/T 42896-2023 正式版 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法.pdf

ICS31.200 CCS L59 G 中华人民共和国国家标准 GB/T42896-2023 微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法 Micro-electromechanical systems(MEMS)technology- Impact test method for nanostructures of silicon based MEMS 2023-08-06发布 2023-12-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T42896—2023 目 次 前言 Ⅲ 1范围 2规范性引用文件 1 3术语和定义1 4要求 2 5试验方法4 附录A(资料性)原位片上冲击试验机尺寸建议 石 附录B(资料性)原位片上热驱动纳尺度结构冲击试验机测试实例7 1 ...