GB/Z 42625-2023 真空技术 真空计 用于分压力测量的四极质谱仪特性.pdf

ICS23.160 CCS J 78 G 中华人民共和国国家标准化指导性技术文件 GB/Z42625—2023/ISO/TS20175:2018 真空技术 真空计 用于分压力测量的四极质谱仪特性 Vacuum technology-Vacuum gauges-Characterization of quadrupole mass spectrometers for partial pressure measurement (ISO/TS20175:2018 IDT) 2023-05-23发布 2023-05-23实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/Z42625—2023/ISO/TS20175:2018 目 次 前言 Ⅲ 引言 V 1范围 1 2规范性引用文件 .1 3术语和定义 2 4符号和缩略语 3 5不同应用状况下要求或推荐的特征参数 4 5.1一般要求 4 5.2QMS的一般特性 4 5.3漏率测量与监测（氮气泄漏）4 5.4漏率监测（空气泄漏） 5 5.5漏率监测（水泄漏） 5 5.6残余气体分析5 5.7放气率测试 6 6表征QMS的真空系统6 6.1一般要求 6 6.2用于表征的单一气体真空系统 6 6.3用于表征的混合气体真空系统 8 7表征与校准程序 .9 7.1一般要求 .9 7.2质量分辨率 9 7.3最小可检分压力()10 7.4最小可检浓度(CMmc) .10 7.5动态范围 11 7.6灵敏度与干扰效应比11 7.7线性响应范围 .12 7.8相对灵敏度系数12 7.9图形模式（裂解模式） 13 7.10QMS的放气率13 7.11QMS的抽速 13 8测量不确定度 14 8.1一般要求 14 8.2质量分辨率的不确定度14 I GB/Z42625-2023/ISO/TS20175:2018 8.3 PMDPP的不确定度 14 8.4最小可检浓度的不确定度(CMc)14 8.5动态范围的不确定度“ .14 8.6灵敏度的不确定度14 8.7线性响应范围的不确定度15 8.8相对灵敏度系数的不确定度 15 8.9图形系数的不确定度15 8.10放气率和抽速的不确定度 15 8.11QMS特性参数的长期稳定性 15 9报告结果16 附录A(资料性)不同流动状态下，由泄漏元件前置存储容器内的已知气体混合物，估算测量室内的 气体成分 17 Ⅱ ...