中华人民共和国国家标准
GB/T 48096-2026
微机电结构动态位移参数的 激光多普勒测量方法
Laser Doppler measurement method for dynamic displacement parameters ofmicro-electromechanical structures
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布
目次
前言1范围2规范性引用文件3术语和定义4原理5测量条件6仅器设备7样品 8测量步骤8.1测量前准备8.2动态位移8.3共振规率.8.4品质因数.8.5工作振型8.6模态振型9测量报告附录A（资料性） 激光多普勒测振原理附录B（资料性） 微机电结构扫描区域和测量点划分附录C（资料性） 测量报告记录表参考文献. •15
前言
本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草.
请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任.
本文件由中国科学院提出.
本文件由全国光电测量标准化技术委员会（SAC/TC487）和全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)共同归口.
本文件起草单位：浙江舜辉光学科技有限公司、余姚舜宇智能光学技术有限公司、中国计量大学、中国科学院空天信息创新研究院、清华大学、浙江大立科技股份有限公司、杭州士兰微电子股份有限公 司、天地伟业技术有限公司、天津大学、歌尔微电子股份有限公司，舜宇集团有限公司、浙江省质量科学研究院、宁波职业技术大学、浙江宇视科技有限公司、苏州明传感科技股份有限公司、苏州热工研究院有限公司、北京清华长庚医院、北京航天控制仪器研究所、中国科学院微电子研究所.
本文件主要起草人：宋云峰、王忠伟，李方浩，王璞，尉吴赞、姜利军，王敏昌、薛超，桑梅、宋青林、劳云峰、姚磊、王正才、邓黄燕、张沛、林磊、胡敏、刘福民、霍树春、陈亮、罗坤杰、朱俊铭、杨哲霖、 徐小选、项国平，董洁、吴德林魏云、费强、周志海、张子怡.
