中华人民共和国国家标准
GB/T 20521.12-2026
半导体器件第14-12部分： 半导体传感器基于CMOS成像的 气体传感器的性能测试方法
Semiconductor devices-Part 14-12:Semiconductor sensorsPerformance test methods for CMOS imager-based gas sensors
国家标准化管理委员会 国家市场监督管理总局 发布
目次
前言引言1范围2规范性引用文件3术语和定义3.1通用术语3.2性能参数4测试环境条件 5测试系统5.1述5.2气体流量计5.3气管5.4气室5.5图像存储设备5.6图像分析系统6测试方法6.1测试前准备6.2灵敏度6.3检测限6.5响应时间 6.4选择性6.6重复性6.7稳定性7测试报告附录A（资料性） 基于CMOS成像的气体传感器的原理和类型 10A.1原理 10A.2类型 10附录B（资料性）测试报告模板 12参考文献 13
前言
本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草.
本文件是GB/T20521《半导体器件第14部分：半导体传感器》的第14-12部分.GB/T20521已经发布了以下部分：
第14-1部分：半导体传感器传感器总规范（GB/T20521.1-2026）；第14-2部分：半导体传感器霍尔元件（GB/T20521.2-2025）；第14-3部分：半导体传感器压力传感器（GB/T20522-2006）；第14-5部分：半导体传感器PN结半导体温度传感器（20521.5-2025）： 第14-4部分：半导体传感器半导体加速度计（GB/T20521.42025）：第14-12部分：半导体传感器基于CM0S成像的气体传感器的性能测试方法(GB/T 20521.12-2026).
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本文件由中华人民共和国工业和信息化部提出.
本文件由全国半导体器件标准化技术委员会（SAC/TC78）归口.
本文件起草单位：之江实验室、浙江迈销生物科技有限公司、德玛克（浙江）精工科技有限公司、国科大杭州高等研究院、山东华光光电子股份有限公司、中国电子科技集团公司第十三研究所、浙江大学、中国计量科学研究院、中国电子技术标准化研究院、浙江大学医学院附属部逸夫医院、公安部第三研究 所、中科微感（宁波）科技有限公司、中绍宣科技集团有限公司、长沙钛合电子设备有限公司、深圳市海曼科技股份有限公司、河南驰诚电气股份有限公司、珠海芯曜工研科技有限公司、深圳市瑞之辰科技有限公司、北京博视像元科技有限公司、深圳市斯科尔科技股份有限公司.
本文件主要起草人：王镇、崔瑶轩、曹罐龙、张建锋、朱贸、李振廷、王忠新、张芬妮、钟鑫、孙志学、李金鹏、周小华、杨军超、蔡壮钦. 吴德华、徐英莹、吴海、刘秀娟、沈文锋、刘彩霞、王亚飞、曾勇刚、黄永锋、班茜茜、徐卫锋、时学瑞、
