中华人民共和国国家标准
GB/T 48095-2026
microstructures utilize microscopic interferometry
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布
目次
前言1范围2规范性引用文件3术语和定义4测量原理5测量装置5.1装置组成5.2科勒照明模块 5.3测试光路模块5.4参考光路模块5.5调制相位测量模块5.6变形镜补偿模块5.7调焦模块5.8垂直扫描模块5.9干涉图采集模块5.10控制与数据处理模块6测量环境8测量步骤 7样品9数据处理 9.1述9.2线宽9.3深度9.4平均粗糙度9.5测量不确定度9.6深宽比 1010测量报告 11 10附录A（资料性）高深宽比微结构形貌复原算法 12附录B（资料性） 测量不确定度计算示例 13附录C（资料性） 高深宽比微结构形貌参数测量报告格式 14附录D（资料性）高深宽比微结构形貌参数测量示例 15参考文献
前言
本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草.
请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任.
本文件由中国科学院提出.
本文件由全国光电测量标准化技术委员会（SAC/TC487）与全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)共同归口.
本文件起草单位：南京理工大学、上海市计量测试技术研究院有限公司、中国电子科技集团公司第十三研究所、中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公 司、中国科学院微电子研究所、中国计量科学研究院、中国科学院空天信息创新研究院、齐之明光电智能科技（苏州）有限公司、南京智群光电技术有限公司、苏州热工研究院有限公司、浙江大学苏州工业技术研究院、无锡华润土华科技有限公司.
本文件主要起草人：高志山、袁群、马剑秋、霍霄、雷李华、赵琳、何洪涛、徐爱东、时文华、翰涛、史云涛、周维虎、施玉书、王璞、巩岩、李季、罗坤杰、徐志毅、陈红、夏长奉.
