中华人民共和国国家标准
GB/T 48094-2026
Testmethod of plasma parameters
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布
目次
前言2规范性引用文件3术语和定义4测试原理.5测试条件5.1环境条件.5.2测试设备条件 5.3气体类型与纯度要求6测试设备6.1光源选择.6.2光谱仪.6.3数据显示与采集系统6.4出射激光收集系统7测试步骤.7.1活性粒子.7.2离子参数7.3电子参数8数据处理.8.1活性粒子. 8.2离子参数.8.3电子参数9测试报告附录A（资料性）测试参数推导过程A.1离子参数A.2电子参数 10附录B（资料性）部分活性粒子测试参考特征及跃迁波长附录C（资料性）测试报告模板参考文献 •20
前言
本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规
定起草.
请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任.
本文件由中国科学院提出.
本文件由全国光电测试标准化技术委员会（SAC/TC487）归口.
本文件起草单位：中国科学技术大学、云南大学、安徽中科大禹科技有限公司、南昌大学、中国科学院空天信息创新研究院、中国科学院合肥物质科学研究院、安徽中科聚变太赫兹科技有限公司、核工业西南物理研究院、费勉科技（上海）股份有限公司、中国科学技术大学先进技术研究院、中国计量大学、 池州学院、北京环境特性研究所.
本文件主要起草人：吴征威、刘琦、黄永海、欧阳文冲，王璞、张乔枫、谢锦林、潘卓超、储江南、刘海庆、王宏北、聂林、张晓世、谢斌平、朱骥文、张激琴、汪新建、梅林、孙金海.
