ICS81.040.10 CCS Q 33 JC 中华人民共和国建材行业标准 JC/T2201—2022 代替JC/T22012013 镀膜玻璃用靶材 Targets for coated glass 2022-09-30发布 2023-04-01实施 中华人民共和国工业和信息化部发布 RAD JC/T2201—2022 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规 定起草. 本文件代替JC/T2201一2013《镀膜玻璃用靶材》，与JC/T2201一2013相比，除结构调整和编辑 性改动外，主要技术变化如下： a)删除了氧化物靶材失氧率的要求（见5.6 2013年版的5.6）： b)合并了化学式和成型方法，更改了杂质元素含量的单位，增加了序号列，提高了部分靶材纯度 要求，调整了靶材种类（见表1 2013年版的表1）； c)合并了化学式和成型方法，调整部分靶材的密度要求（见表2 2013年版的表2）； d)删除了喷涂靶材中对平面靶材的孔洞要求，提高了粉末冶金靶材的表面孔洞要求（见表3 2013 年版的表3)； e)增加了平面邦定靶材和旋转邦定靶材的邦定质量要求（见5.4）： f)增加了常用熔铸靶材的晶粒度和均匀性（见5.6）； g)增加了氧化锆和氧化铌的电阻率要求（见5.7）； h)更改了内部缺陷要求，被检测面积应大于靶材溅射面总面积的5%修改为应包含靶材的溅 射面积，邦定靶材包含粘结面积（见6.4 2013年版的6.4）； i)删除了氧化物靶材失氧率的检验方法，增加了熔铸靶材的晶粒度和均匀性的检验方法（见6.6， 2013年版的6.6)； j)增加了喷涂旋转靶材的电阻率的检验方法（见6.7.2）； k)增加了组批和检验项目（见7.2）. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任. 本文件由中国建筑材料联合会提出. 本文件由全国建筑用玻璃标准化技术委员会(SAC/TC255)归口. 本文件起草单位：河北冠靶科技有限公司、东莞市欧莱溅射靶材有限公司、新福兴玻璃工业集团有 限公司、中国建筑玻璃与工业玻璃协会、宁波森利电子材料有限公司、上海耀皮玻璃集团股份有限公司、 梭莱镀膜工业（江阴）有限公司、中力玻璃有限公司、株洲旗滨集团股份有限公司、常州亚玛顿股份有限 公司、中国南玻集团股份有限公司、青岛锦绣前程节能玻璃有限公司、秦皇岛玻璃工业研究设计院有限 公司. 本文件主要起草人：温艳玲、文宏福、田永刚、杨晔、吴斌、蔺裕平、汤传兴、曾小绵、林金锡、 黄成德、樊义平、张中美、陈玉平、程亦、林庆中、刘国东、贾立丹. 本文件所代替文件的历次版本发布情况为： —本文件于2013年首次发布，本次为第一次修订. I JC/T 2201-2022 镀膜玻璃用靶材 1范围 本文件规定了镀膜玻璃...
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