ICS13.040.35 CCS C70 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T25915.13-2022/ISO14644-13:2017 洁净室及相关受控环境 第13部分：达到粒子和化学洁净度 要求的表面清洁 Cleanrooms and associated controlled environments-Part 13:Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical classifications (ISO14644-13:2017 IDT) 2022-12-30发布 2023-07-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T25915.13-2022/ISO14644-13:2017 目 次 前言… I 引言……… Ⅱ 1范围…………………………1 2规范性引用文件……… ………………1 3术语和定义………… …2 4一般方法…………………………………………………………3 5对象描述……… …………4 6洁净度要求……………………… …5 7初始污染水平的测定……5 8其他要求……… ……………6 9清洁方法的选择……6 10材料相容性检查………… ……………………………7 11清洁验证…………………… ………………….7 12测量方法…………………… ………11 13记录………… ………………………12 附录A(资料性)清洁要索……… ……….13 附录B(资料性)清洁方法……………… ………14 附录C(资料性)材料与清洁剂的相容性………………………………………20 用料性)净皮测量 参考文献 ……………………26 GB/T25915.13—2022/ISO14644-13:2017 前 言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草. 本文件是GB/T25915《洁净室及相关受控环境》的第13部分.GB/T25915已经发布了以下 部分： 一第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级； 一第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测； —第3部分：检测方法； —第4部分：设计、建造、启动； —第5部分：运行； 一—第6部分：词汇； —第7部分：隔离装置（洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境）； —第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级； —第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级； ——第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级； —第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求； —第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁； —第14部分：按粒子浓度评估设备适用性； 一第15部分：按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性....
GB/T 25915.13-2022 洁净室及相关受控环境 第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁.pdf
