GB/T 25915.8-2021 洁净室及相关受控环境 第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度（ACC）等级（含ISO 14644-8-2013）.pdf

ICS13.040.35 CCS C 70 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T25915.8-2021/ISO14644-8:2013 代替GB/T25915.82010 洁净室及相关受控环境 第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度 (ACC)等级 Cleanrooms and associated controlled environments- Part 8:Classification of air cleanliness by chemical concentration(ACC) (ISO14644-8:2013 IDT) 2021-08-20发布 2022-03-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T25915.8-2021/ISO14644-8:2013 目 次 前言 引言 Ⅲ 1范围 1 2规范性引用文件 3术语和定义1 4分级 ..3 5合格性的证明 .5 附录A(资料性)影响ACC的因素 6 附录B(资料性)常见污染物9 附录C(资料性)常用测量方法 12 附录D(资料性)隔离装置的特殊要求15 参考文献 16 GB/T25915.8-2021/ISO14644-8:2013 前 言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草. 本文件是GB/T25915《洁净室及相关受控环境》的第8部分.GB/T25915已经发布了以下部分： ——第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级； ——第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测； —第3部分：检测方法； —第4部分：设计、建造、启动； —第5部分：运行； —第6部分：词汇； —第7部分：隔离装置（洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境）； —第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级； ——第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级； ——第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级； ——第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求. 本文件代替GB/T25915.8一2010《洁净室及相关受控环境第8部分：空气分子污染分级》，与 GB/T25915.8一2010相比，主要技术变化如下： a)增加了“按化学物浓度划分空气洁净度”“按化学物浓度划分表面洁净度”和“按化学物浓度划 分空气洁净度(ACC)等级”的术语和定义（见3.1.2、3.1.4、3.1.8）； b)修改了术语“分子污染”为“化学污染物”、“空气分子污染”为“空气化学污染”和“表面分子污 染”为“表面化学污染物”（见3.1.1、3.1.3、3.1.5 2010年...