SJ/T 11500-2015 碳化硅单晶晶向的测试方法.pdf

ICS29.046 H83 备案号：50557-2015 SJ 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T11500—2015 碳化硅单晶晶向的测试方法 Test method for measuring crystallographic orientation of monocrystalline silicon carbide 2015-04-30发布 2015-10-01实施 CD 中华人民共和国工业和信息化部发布 N SJ/T115002015 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)归口. 本标准起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、工业和信息化部电子工业标准化研究院. 本标准主要起草人：丁丽、郝建民、周智意、商姻、何秀坤、冯亚彬、裴会川. AND INDUSTRY SJ STANDARDS I ...