ICS 31.030 L90 备案号：50563-2015SJ 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T 11506-2015
集成电路用铝腐蚀液 AluminumetchingsolutionforIntegratedCircuit
2015-04-30发布2015-10-01实施
中华人民共和国工业和信息化部发布
SJ/T 11506-2015
前言 本标准是按照GB/T1.1一2009之规则起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。
本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）归口。
本标准起草单位：江阴润玛电子材料股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院。
本标准主要起草人：戈士勇、何珂。
土尚霞、土香、装会川。
SU
SJ/T11506-2015
集成电路用铝腐蚀液
1范围 本标准规定了集成电路用铝腐蚀液（以下简称铝腐蚀液）的术语、性状、技术要求、试验方法、检 验规则和包装、标志、储存、运输等。
本标准适用于集成电路用铝腐蚀液。
本标准不涉及使用安全性问题当的安全健康条款及使用范围的限 制。
2规范性引用文件 下列文件对于 件。
凡是不注日文保其最新版本（包活的修改单适用于本 GB/T 191包装储运图 GB/T 601剂标 GB/T 602剂杂制备 GB/T603及制的制备 GB/T 447 P化工广步密度、相对 GB/T 667化2产品采 GB/T6682分所验室用水规格和试验方法 GB/T8170约规则与极限数值的表示和判定 GB/T 9728硫酸盐测定通用方法 GB/T 9729氯化物测定通用方法 GB/T 11446.1 GB15258化学品美
3术语 下列术语和定义适用于本文件。
3.1 超纯硝酸ultrapure nitricacid 金属离子含量不大于1μg/L的硝酸。
SJ/T11506-2015 4性状和技术要求 4.1性状 本试剂为无色的透明粘稠状液体，为磷酸、硝酸、乙酸和水按一定配比混合而成的混合液体，其中 磷酸含量允许偏差为土1.0%，硝酸含量允许偏差为土0.3%，乙酸含量允许偏差为土0.5%。
4.2技术要求 铝腐蚀液技术要求应符合表1的规定： 表1技术要求 项目指标
m 酸值允许偏差（以H计）± 0.2 mmol/g 密度允许偏差（25℃）± 0.01 g/mL 颗粒（≥0.5um）50S0小50 pcs/mL 颗粒（≥1.0um）101010 pcs/mL 氯化物（CI）≤5 mg/kg 硫酸盐（SO4)以S心心 mg/kg 银（Ag）100从20心 μg/kg 砷（As）以10010 μg/kg 金（Au）从10020 μg/kg 钡（Ba）≤100≤20 μg/kg 钙（Ca）≤1000≤500≤50 μg/kg 镉（Cd）以10020 μg/kg 钴（Co)100≤20心 μg/kg 铬（Cr）以10020心 μg/kg
SJ/T11506-2015 表1 (续) 项目指标
1m 铜（Cu）以100从S0S μg/kg 铁（Fe）100心 μg/kg 汞（Hg)以100≤20心 μg/kg 钾（K）从100≤20心 μg/kg 镁（Mg）≤100从10 μg/kg 锰（Mn）从100从10 μg/kg 钠（Na）从100从20 μg/kg 镍（Ni）10010 μg/kg 铅（Pb）以10010心 μg/kg 锑（Sb）≤500从20 μg/kg 锡（Sn）以100以20MN μg/kg 钛（Ti）从100从20 μg/kg 钒(V)以100≤20 μg/kg 锆（Zr)≤100≤20 μg/kg 注：酸值和密度由供需双方商定，含量允许偏差值满足表1规定。
5试验方法 5.1一般规定 本试验方法中除另有规定外，标准滴定溶液、杂质测定用标准溶液和所用制剂及制品均按GB/T601、 GB/T602、GB/T603之规定制备：除特殊要求外，实验室用水应符合GB/T6682中二级水规格，实验 用试剂均为分析纯。
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