ICS17.040.30 J42 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T39516-2020 微纳米标准样板（几何量） Micro nano standard samples(geometric) 2020-11-19发布 2021-06-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T39516—2020 目 次 前言 Ⅲ 1范围 1 2规范性引用文件 1 3术语和定义 .1 4型式与基本参数 3 4.1型式 3 4.2基本参数 4 5要求 5 5.1外观 丰丰丰丰 5 5.2性能参数要求5 6检查条件 .7 7检查方法 7 7.1外观 7 7.2微纳米线间隔标准样板的性能参数7 7.3微纳米台阶高度标准样板的性能参数 .10 7.4纳米膜厚标准样板的性能参数 .12 7.5纳米线宽标准样板的性能参数 14 8标志、运输及储存 15 8.1标志 .15 8.2运输 16 8.3储存 16 8.4产品合格证 16 图1线间隔示意图1 图2台阶高度示意图2 图3薄膜厚度定义示意图 2 图4线宽示意图 2 图5微纳米线间隔标准样板型式示意图3 图6微纳米台阶高度标准样板型式示意图3 图7纳米膜厚标准样板型式示意图 .4 图8纳米线宽标准样板型式示意图4 图9线间隔偏差有效测量区域选择示意图8 图10线边缘粗糙度考核位置示意图 9 I GB/T39516—2020 图11线边缘粗糙度示意图 9 图12均匀性测量示意图 .10 图13台阶高度测量示意图 11 图14台阶区域均匀性测量时测量线选取示意图 12 图15薄膜厚度偏差考核示意图13 图16线宽偏差测量区域选择示意图 14 图17线宽均匀性测量位置选择示意图15 表1微纳米线间隔标准样板的性能参数要求5 表2微纳米台阶高度标准样板的性能参数要求5 表3纳米膜厚标准样板的性能参数要求 6 表4纳米线宽标准样板的性能参数要求6 ...
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