ICS31.200 L55 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T38341-2019 微机电系统(MEMS)技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法 Micro-electromechanical system technology- The reliability test methods of MEMS in integrated environments 2019-12-31发布 2020-04-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T38341-2019 目 次 前言 Ⅲ 1范围 2规范性引用文件 1 3术语和定义 .1 4试验方法 1 4.1预处理1 4.2温度、湿度试验 2 4.3机械试验 9 4.4耦合试验 .12 5失效结果处理15 参考文献 16 GB/T38341-2019 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)提出并归口. 本标准起草单位：东南大学、华为技术有限公司、佛山市川东磁电股份有限公司、中机生产力促进中 心、浙江博亚精密机械有限公司、沈阳国仪检测技术有限公司、无锡华润上华科技有限公司、北京大学、 中北大学、中国科学院电子学研究所、北京必创科技股份有限公司. 本标准主要起草人：王磊、黄创君、于振毅、陆学贵、朱悦、夏长奉、黄庆安、龙克文、石云波、李海斌、 肖昆辉、郑凤杰、张威、程逸轩、马书鄉、陈得民. ...
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