GB/T29846--2013
前言
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利，本文件的发布机构不承担识别这些专利的贵任。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出并归口。
本标准起草单位：北京力拓达科技有限责任公司、深圳容大电子材料有限公司、中国电子技术标准 化研究院。
本标准主要起草人：李春圃、邵磊、刘放升、黄勇。
GB/T 29846-2013
印制板用光成像耐电镀抗蚀剂
1范围
本标准规定了印制板用光成像耐电管抗蚀剂的术语和定义、性能、试验方法、检验规则和包装。
本标准适用于印制板制造用的光成像耐电镀抗蚀剂、光成像抗电镀剂、光成像抗酸性蚀刻剂和光成 像抗碱性蚀刻剂。
2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的，凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。
凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件。
GB/T191-2008包装储运图示标志 GB/T2036一1994印制电路术语 GB/T2421.1-2008电工电子产品环境试验概述和指南 GB/T4677-2002印制板测试方法 GB/T4588.2-1996有金属化孔单双面印制板分规范 GB/T5547-2007树脂整理剂度的测定 GB/T6753.1一2007色漆、清漆和印刷油墨研磨细度的测定
3术语和定义
GB/T2036一1994界定的以及下列术语和定文适用于本文件。
3. 1 涂roller coating 将印制板用光成像耐电镀抗蚀剂用传动方式涂在辐涂机的涂布辊表面，然后再转印到承印物的 过程。
3.2 无图形网印screenprintingofnopattern 用无图形网版，将印制板用光成像耐电键抗蚀剂网印至承印物的过程。
3.3 浸涂soakcoating 用浸人的方法将印制板用光成像耐电键抗蚀剂均匀涂布的过程。
3.4 预干燥predrying（pre-drying) 印制板用光成像耐电镀抗蚀剂由液态变为固态的过程为预干燥。
3.5 曝光能量exposure energy 感光体接收紫外光辐射使其完全固化所需的能量，用mJ/cm²表示。
GB/T 29846-2013 3.6 光级数step ofexposure 用光梯尺做底片，光、显影后目视全部露铜的首格所对应的数值。
3.7 后周化later curable(postcuring) 为加强光成像耐电镀抗蚀剂耐电镀和抗蚀能力，显影后再加热或用紫外光方式加强固化的过程。
3.8 耐电镀性platingresistance 印制板用光成像耐电镀抗蚀剂制成图形后其图形拖膜耐电镀的能力。
3.9 抗蚀刻性etchingresistance 印制板用光成像耐电镀抗蚀剂制成图形后其掩膜抗蚀刻的能力。
4性能 4.1成像前 成像前的性能见表1。
表1或像前的性能 序号项目性能 1外现需测液体：无硬块，搅拌后是均句状态 2鞋度10 dPa • s~200 dPs ~ s 3组度不大于20pm 4预干燥后的外观无杂质、气幽、针孔，表面均匀
4.2成像后 4.2.1最小线宽和线间距 最小线宽和线间距见表2. 表2最小线宽和线间距 序号项目性能极限偏差 1图形电镀性刻最小线宽和线间距为0.10mm 2图形蚀刻最小线宽和线间题为0.075mm不超过士10%
4.2.2耐电镀性 耐电镀性见表3. 2
GB/T 29846--2013 表3耐电镀性 序号镀层种类镀层厚度要求 1键 Cu/PbSn（或 Sn)Cu;13 μm~25 μm
PbSn(成 Sn）;5 μm~10 μm Ni;1. 3 μm~5. 0 μm镀后，图形应无渗镀、起泡、脱落 2镀Ni/AsAu;0, 01 μm~0.05 μm 注：以上电镀均为眼性电镀溶液。
4.2.3抗蚀刻性 抗蚀刻性见表4。
表4抗蚀刻性 序号项目性刻厚度要求 1碳性氧化钢性刻液≤35 μm蚀则后，图形应完鉴，无渗蚀、 2碱性氯化钢蚀则液（pH8.3~8.7）起掘、脱落
5试验方法 5.1试样 5.1.1试验图形 根据GB/T4588.2-1996综合测试图中的“F"制备三个样品。
“F"中线宽和线间两组图形分别改 为0.075mm和0.010mm.样品可以是产品图形的一部分。
5.1.2试样制造及数据计算 试样制造及数据计算见附录A。
5.2外现 取样50g~80g于烧杯中静置5min后，按GB/T4677-2002中的5.1.1测试。
5.3度 取样200g按GB/T5547-2007在25C士0.5C的环境中测试， 5.4细度 取4滴~5滴按GB/T6753.1-2007进行测试。
5.5预干燥后的外观 按GB/T4677-2002中的5.1.1测试。
GB/T 29846-2013
5.6最小线宽和线间距 按5.1的要求制样后，按GB/T4677-2002中的5.1.2测试， 5.7耐电镀性 按5.1的要求制样后，按GB/T4677-2002中的8.1.6测试。
5.8抗蚀刻性 按5.1的要求制样后，按GB/T4677-2002中的5.1.1试。
6检验规则 6.1检验条件 除非另有规定，试验均应在GB/T2421.1-2008规定的试验标准大气压下进行，即： a）温度为15℃~35℃； b）相对湿度为45%~75%； c)大气压力为86kPa~106kPa. 6.2检验分类 检验分类包括： a）鉴定检验； b）质量一致性检验， 6.3鉴定检验 6.3.1抽样方案 检验样品应由生产中通常使用的工艺、设备制造。
随机抽取500g样品置于室内保存，其中300g 用于表5中第1项~第3项的检验，进行表5中的第4项~第7项检验时，应从余下的200g样品中取 适量制成3个具有试验图形的样板（图形也可以是产品的一部分）。
6.3.2检验程序 鉴定检验项目、要求、试验方法及允许不合格品数应按表5规定。
表5鉴定检验 序号检验项目妥求章条号试样方法章条号每样本单位合格判定数不合格
试验数判定数 1外观5.21 24.15.3301 3细度5,4301 4预干燥后的外观5.5312 5最小线间线宽4.2.15,6301 6耐电银性4.2.25.7301 7抗蚀刻性4,2. 35,830...
