SJ/T 11451-2022 扩散炉能源消耗规范.pdf

ICS27.010 CCS L97 SJ 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T11451—2022 代替SJ/T11451一2013 扩散炉能源消耗规范 Specification for energy consumption of diffusion furnace 2022-10-20发布 2023-01-01实施 SJ 中华人民共和国工业和信息化部发布 SJ/T11451-2022 目次 前言 III 1范围. ..1 2规范性引用文件.. .1 3术语和定义. 4能源消耗指标计算 ...1 5能源消耗等级指标 ..1 6可比单耗计算方法 TRY.AND ... 2 6.1可比单耗. 2 6.2实耗电能量 2 6.3合格产品折 MA CHNO 3 3 附录A(资料性) 附录B(资料) SJ 7能源消耗评价现则 4 7 MULSINIW STANDARDS ...