ICS17.040.30 CCS J 42 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T43915-2024 纳米几何量标准样板测试方法 Testing method for nano geometric standard samples 2024-04-25发布 2024-11-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T43915-2024 目 次 前言 Ⅲ 1范围 1 2规范性引用文件 .1 3术语和定义 .1 4测试方法分类及原理 1 4.1纳米线间隔标准样板测试方法分类及原理 1 4.2纳米线宽标准样板测试方法分类及原理2 4.3纳米台阶高度标准样板测试方法分类及原理 2 4.4纳米膜厚标准样板测试方法分类及原理 3 5测试设备 5.1设备选择5 5.2设备要求 5 6测试环境6 7测试程序 6 7.1外观 6 7.2纳米线间隔标准样板测试6 7.3纳米线宽标准样板测试 6 7.4纳米台阶高度标准样板测试6 7.5纳米膜厚标准样板测试 7 8测试数据处理7 8.1纳米线间隔标准样板测试数据处理7 8.2纳米线宽标准样板测试数据处理 7 8.3纳米台阶高度标准样板测试数据处理7 8.4纳米膜厚标准样板测试数据处理 7 附录A(资料性)标准样板测试记录 9 参考文献 10 I ...
GB/T 43915-2024 纳米几何量标准样板测试方法.pdf
