ICS19.08 CCS K 80 T/GVS 团 体 标准 T/GVS006—2022 半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳 定性测量方法 Method of measuring output deviation stability for semiconductor RF power supply and microwave power supply 2022-05-27发布 2022-05-27实施 广东省真空学会 发布 T/GVS006—2022 目 次 前言 II 1范围. 1 2规范性引用文件. 1 4符号和缩略语，， 2 5总则... 2 6测试条件............ 2 6.1测试环境..... 2 6.2测试前准备. 2 7测试要求.. 3 7.1最大输出功率测试 3 7.2频率偏差测试.. .4 7.3功率偏差测试... . 4 7.4不同驻波比下功率输出测试 ...5 7.5最大功率下输出不匹配测试 ...6 附录A(资料性)射频电源和微波电源最大输出功率测试记录格式.8 附录B(资料性)射频电源和微波电源频率偏差测试记录格式9 附录C(资料性)射频电源和微波电源功率偏差测试记录格式10 附录D(资料性)射频电源和微波电源不同驻波比下功率输出测试记录格式..........11 附录E(资料性)射频电源和微波电源最大功率下输出不匹配测试记录格式...........12 参考文献 I ...
T/GVS 006-2022 半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法.pdf
