ICS27.160 CCS F12 团 体 标 准 T/CP1A0065—2024 异质结电池用等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)设备 Plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD)equipment used for heterojunction photovoltaic cells 2024-03-10发布 2024-03-15实施 中国光伏行业协会 发布 T/CP1A0065—2024 目 次 前言 1范围.... 1 2规范性引用文件. ...1 3术语和定义. .....1 4工作环境及工作条件. .2 5设备要求.. 5.1外观..... ......2 5.2安全. ...3 5.3主要功能， .3 5.4性能..... 6试验方法.. 6.1基本性能. *.4 6.2薄膜基本参数..... .......5 7检验规则.... 7.1检验类型. 7 7.2交付检验.... ...........7 8标志、包装、搬运和运输、贮存. 8.1标志... .8 8.2包装.... .8 8.3搬运和运输 .......8 8.4贮存.. 9 I T/CP1A0065—2024 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任. 本文件由中国光伏行业协会标准化技术委员会提出. 本文件由中国光伏行业协会标准化技术委员会归口. 本文件起草单位：中国电子技术标准化研究院、理想万里晖半导体设备（上海）股份有限公司、降 基绿能科技股份有限公司、湖南红太阳光电科技有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、常州捷 佳创精密机械有限公司、无锡帝科电子材料股份有限公司、杭州福斯特应用材料股份有限公司、江苏乾 景睿科新能源有限公司、浙江润海新能源有限公司、江苏爱康能源研究院有限公司. 本文件主要起草人：王赶强、王慧慧、庄天奇、马哲国、卢俊雄、吴易龙、江伟、朱海剑、张洪旺、 周光大、朱晨、刘松民、周春华、谈剑豪. III ...
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