光栅线位移测量装置 检定规程JJG 341-94 Verification Regulation of Grating Linear Displscement Mesuring Devlco
本检定规程经国家技术监督局于1994年5月6日批准，并自 1994年12月1日起施行。
归口单位：中国测试技术研究院
起草单位：中国测试技术研究院
本晟程技术条文山起卓单位负责解释，
本规程主要起草人：目录 您家学（中国测试技术研究院） 参加起革人：概述（1） 郭健蓉（中国调试技术研究院）三检定项目和检定条件11（1） 张恒（中国计量科学研究院）三技术要求和检定方法（2）
四用激光干涉测长仪检定光据装置的准确度（5） 五用长光栅比较仅检定光栅装置的准确度.(10) 六检定结果处理和检定周期.（(10) 附录各种温度的饱和气压表(11)
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光栅线位移测量装置检定规程 本规程适用于新制造、使用中和修理后的光栅线位移测量装置的 检定，
一概述 1光栅线位移测量装置（以下简称光栅装置）是以光栅作为测 量元件，用光栅线位移传感器（以下简称光栅传感器）将线位移量通 过光栅数显表，以数字显示的线位移测量装置。
2光栅装置主要由光栅传感器（包括专用电缆）和光栅数显表 两部分配对组成。
3光栅传感器按结构分为开启式和封闭式，按型式分为带参考 零位和不带参考零位的光栅传感器， 4光栅数显表按功能分为普通型和多功能型光栅数显表。
二检定项目和检定条件 5光栅装置的检定项目和主要检定工具如表1所示。
表1 序号检定项目主要检定工具检定类别
新制的登理后使用中 1外限+ 2机械性能+++ 3功能+++ 4细分误差派光干沙河长汉成长++4 5目程误差光比较汉+++ 6官复性+++ 7定度+++ 8准度++ ：去中“+”去示应检它，“-”张示可不经定，
共11页第2页JJG 341-94 JJG341-94共11页第3页 6光细装置检定时的温度以20℃为标准，检定温度应满足表5正常，其附加功能按产品技术文件要求。
的各项要求，具有参考零位功能的光栅装置，参考零位功能应正确， 7光栅装置在检定前要放置在检测室内平衡温度，其时间不少11,2检定方法 于12h,开自光棚装置电源，在有效长度范围内和参考零位附近相对往复 8光相装置在接通电源10min后方可进行检定。
移动光栅读数头或光栅尺，观察光栅数显表正确计数的显示；运动方 三技术要求和检定方法向相反时，累加数值应为负号，在相对静止时，分别按动光栅数显表 面板上各功能按钮以检查其清零、置数、置“+”或“”等功能， 9外观12细分误差 9.1要求12.1要求：见表2. 光栅传感器和光栅数显表外表面不应有明显的缺陷和机械损伤， 各农面应色泽均匀，各电源线、信号线接口位置在外壳上应明确标表2 示，各标牌和面板上的数字、文字、标志、符号必须端正清断，光研指分差回限调重复性8定度 传感器和光栅数显表上必须标有制造厂名称或厂标、型号及出厂编分接率（μm） 号.時冲当量数（个） 对修理后和使用中的光栅装置允许有不影响计量性能的缺陷。
≤0.23432 9.2检定方法>0.22222 目测及手感。
10机械性能12,2检定方法 10,1要求在光栅传感器的有效长度范围的起始、中间和末尾3处各选择1 10.1.1光插装置各紧周螺钉应牢固无松动现象，各插头、插座个测量点，在1个栅距内，以每1个细分当量为1测最点，按准确度 应接触可靠无松动，检定的方式进行检定，光栅数显表显示值的变化量即为细分误差， 10.1.2各操作链和按钮应灵活、接触良好可靠。
13回程误差 10.1.3封闭式光栅传感器的光栅读致头在尺体全长上的运动要13.1要求：见表2. 灵活自如，13.2检定方法 10.2检定方法在光糖传患器的有效长度范围的起始、中间和末尾3处各选择1 目测及手感。
个测量点，使光栅读数头从此点移动最少50mm后正、返程移动经过 11功能此点，重复6次测量，光栅数显表显示值的变化量即为回程误， 11.1要求14重复性 光册装置的基本功能是在有效长度范围内均能正确显示长度位称14.1光相装置重复性 量值，光栅数显表上的清零、置数、置“+”或“-"、计数等功能14.1.1要求：见表2.
共11页第4页JJG 341-94 JJG341-94共11页第5页 14.1,2检定方法公式计算，或以实际误差曲线表示：也可用数值A的1/2冠以“土” 在光栅传感器有效长度范围内选择1个测量点，使光栅读数头同号表示. 向移动经过此点，重复6次测量，光栅数显表显示值的变化量即为重光插尺的线膨账系数应在仪器出厂证书上注明。
复性，16.2检定方法 14.2对带参考零位的光栅装置，还应检定参考零位处的重复性。
用激光干涉测长仪或长光栅比较仪检定。
14,2.1要求四用激光干涉测长仪检定光栅装置的准确度 不大于1个最小分辨率。
14.2.2检定方法17激光干涉测长仪应检定合格，其总不确定度应为被检定的光 在光传感器的参考零位处对光初数是表置零或置一任意数，使栅装置总不确定度的1/3或高一个数量级， 光栅读数头正、返程移动经过此点，重复6次测量，读取参考零位的18光概传感器的安装 值，其变化量即为参考零位的重复性，18.1要求 15稳定度应符合产品安装技术要求， 15.1要求：见表2.18,2检定方法 15.2检定方法将光据传感器安装在仪器的工作合上，使其符合网贝原则，用电 在检定条件下，将安装调整好的光栅装置开机10min后，读取感测微仅、千分表或百分表据量光尺刻线间或光栅传感器安装调整 4h内每隔0.5h光数显表的示值，其变化量即为稳定度，面和侧画，移动工作台，调整光栅尺，使其符合产品安装的技术要 16准确度求. 16,1要求19光栅信号质量的检查 在有效长度范围内，光相装置的准确度分为6个级（见表3）.每19.1要求 个级的准确度以误差峰-峰值A（即录大间距误差）表示，按表3的4 表3信号类数会行程中的变化 级别准度A（μm）1~23~6级 10.2+L/1000信号失度≤10%20% 20.5+2L/1000正交性50±1050±30* 31+4L/1000幅值变化率≤10%20% 43+7L/1000 55+15L/1000盗流电平变化率<10%20 610+30 L/1 000lasx-lnia 馆：实中L为光目装置的有效长度，中位为mm注：餐值（I）变化率=(1+laa）/2为光量信号交流幅值的变化率。
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