中华人民共和国国家标准
GB/T36066-2025代替GB/T36066-2018
洁净室及相关受控环境 检测技术要求与应用
Cleanrooms and associatedcontrolledenvironments-Technicalrequirements and application of testing
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布
目 次
前言引言1范围2规范性引用文件3术语和定义4检测项目与相关应用领域5技术要求6应用 附录A(资料性)洁净室及相关受控环境其他检测项目附录B(资料性) 洁净室及相关受控环境性能检测仪器、仪表技术指标附录C(资料性) 洁净室及相关受控环境检测技术方案制定流程 10附录D(资料性)洁净室及相关受控环境性能检测项目的检测方法及应用 11附录E(资料性)洁净室及相关受控环境性能检测项目数据偏离指标限值原因 14参考文献
前言
本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定起草.
本文件代替GB/T36066-2018《洁净室及相关受控环境检测技术分析与应用》,与GB/T36066一2018相比,除结构调整和编辑性改动外,主要技术变化如下:
的3.1、3.2、3.3、3.4、3.5、3.6、3.7、3.8、3.9、3.10、3.11、3.12);c)增加了“不同应用领域洁净室环境性能检测项目应根据工艺和使用要求确定,并满足现行国家、行业标准规范中的相关要求"(见4.1);d)更改了“检测项目与相关应用领域”(见4.2,2018年版的第4章);e)增加了“洁净室及相关受控环境其他常规检测项目”(见4.3);f)删除了“技术准备”“检测作业要素”(见2018年版的5.2、5.5); (9)(h)更改了“检测仪器”“检测条件”检测报告“的要求(见5.2、5.5、5.7.2018年版的5.3、5.1、5.6);i)增加了“方法应用”“检测数据偏差的原因"(见6.1、6.2);j)删除了“检测工况分析”(见2018年版的第7章).
请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任.
本文件由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC319)提出并归口.
本文件起草单位:中电投工程研究检测评定中心有限公司、苏州苏信环境科技有限公司、苏州安泰空气技术有限公司、吴江市华宇净化设备有限公司、深圳天溯计量检测股份有限公司、中国标准化协会、中国电子工程设计院有限公司、北京戴纳实验科技股份有限公司、苏州一优检测技术有限公司、上海科 信检测科技有限公司、中国建筑科学研究院有限公司、亚翔系统集成科技(苏州)股份有限公司、北京中邦兴业科技有限公司、武汉华康世纪医疗股份有限公司、上海开纯洁净室技术工程有限公司、南京拓展科技有限公司、上海市食品药品包装材料测试所、柏诚系统科技股份有限公司、江西省检验检测认证总院食品检验检测研究院、中国食品药品检定研究院、仲恺农业工程学院、浙江天台药业股份有限公司、惠瑞净化科技(江苏)有限公司、长鑫集电(北京)存储技术有限公司、中国化工情报信息协会、无锡恒大 电子科技有限公司、合肥晶合集成电路股份有限公司、中治检测认证有限公司.
本文件主要起草人:郭凯、张秀春、石霞、吴志坚、谭军、赵霞、高正、魏佳鸣、喻俊磊、迟海鹏、王立、严小清、姜涛、惠旅锋、冯昕、季金星、陈远、韩辉、白冰、丁力行、崔凯杰、李帅、王靖凯、张长安、沈进焕、杨楚鹏、杨大桂、谢建明、杨晓章、张静.
本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为:
2018年首次发布为GB/T36066-2018;
本次为第一次修订.
引言
洁净室及相关受控环境用于将室内污染控制在适当水平以满足工艺和使用要求,是电子、医药、医疗卫生、航空航天、食品、生物安全等行业生产、科研必需的环境条件.检测是对洁净室及相关受控环境性能、安全、工艺、能效等技术指标的验证活动.本文件给出了不同应用领域洁净室的检测项目,并从系 统特点、工艺和使用要求、现场条件等方面对检测方法提出应用建议,以保证检测方法适宜,检测结果准确可靠.
洁净室及相关受控环境 检测技术要求与应用
1范围
本文件给出了洁净室及相关受控环境的检测项目与相关应用领域,规定了检测技术要求,提供了检测方法的应用建议.
本文件适用于洁净室及相关受控环境的检测.
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款,其中,注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件:不注日期的引用文件,其最新版本(包括的修改单)适用于本文件.
GB/T25915.3洁净室及相关受控环境第3部分:检测方法
3术语和定义
GB/T25915.3界定的以及下列术语和定文适用于本文件.
3.1
洁净室及相关受控环境cleanroom andassociatedcontrolledenvironment
按空气悬浮粒子浓度、微生物限度、化学物浓度受控并分级的房间(洁净室)或限定空间(洁净区),及相关的按规定方法对污染源进行控制的限定区域(相关受控环境).
[来源:GB/T 29469-2024 3.2]
3.2
自净时间cleanliness recovery characteristic
洁净室被污染后,净化空调系统开始运行到恢复到稳定的规定室内洁净度等级的时间.
3.3
预警值alert level
用户设定的参数值,偏离正常条件时可给出早期预警.
注:当超过该值时-加强关注或采取纠正措施.[来源:GB/T25915.2-2021,3.4,有修改]
3.4
干预值action level
用户设定的参数值,当超过该值时,需要立即干预,查明原因并采取纠正措施.[来源:GB/T 25915.2-2021 3.3]
3.5
阔值粒径threshold size
选定的最小粒径以测量大于或等于该粒径的粒子浓度.