YS
中华人民共和国有色金属行业标准
氧化铟锌靶材
Indium-zinc oxide target
中华人民共和国工业和信息化部发布
前言
本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草.
请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任.
本文件由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）提出并归口.
本文件起草单位：西北稀有金属材料研究院宁夏有限公司、宁夏中色新材料有限公司、北京航空材料研究院股份有限公司、宁夏东方钮业股份有限公司、中山智隆新材料科技有限公司、芜湖映日科技股份 有限公司、株洲火炬安泰新材料有限公司、江苏莱希海姆科技有限公司.
本文件主要起草人：左宁伟、征卫星、马肖、孙洪涛、王东新、葛春桥、李正飞、张红梅、孟将、方熙成、曾墩风、唐安泰、罗瑜.
氧化铟锌靶材
1范围
本文件规定了氧化锯锌靶材的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容.
本文件适用于以氧化钢粉末、氧化锌粉末为原料，以常压烧结工艺生产的氧化钢锌靶材.
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用面构成本文件必不可少的条款.其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件.
GB/T3850致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法 GB/T351金属材料电阻系数测量方法GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定
3术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义.
4技术要求
4.1化学成分
4.1.1产品的主要成分质量百分比为InO：ZnO=90：10，偏差为士0.5.
4.1.2产品的杂质成分应符合表1的规定.需方如对产品的化学成分有特殊要求，由供需双方商定.
表1杂质成分
质量分数/%
杂质含量，不大于Fe A1 Si Mg Cu Pb N P0. 0025 0.0010 0. 0025 0 0015 0 0005 0. 0005 0.0005 0.0005 0.0005
4.2物理性能
4.21密度应不小于6.85g/cm².
4.2.2电阻率应不大于5.0×10-Ωcm.
4.3形状和尺寸
产品形状呈平面状或管状，其尺寸及偏差由供需双方商定.
YS/T1616-2023
4.4表面粗糙度
产品表面粗糙度R.应不大于1.6mm.
4.5表面质量
4.5.1产品表面呈绿色或墨绿色，色泽均匀.4.5.2产品表面应无裂纹，无明显崩边，目视无气孔.
5试验方法
5.1产品的化学成分检验方法由供需双方协商确定.5.2产品的密度检验按GB/T3850规定进行：电阻率的检验方法按GB/T351的规定进行. 5.3产品的外观采用目视检查；尺寸采用相应精度的测量工具进行测量.5.4表面粗糙度用样块法或仪器法进行检验.5.5产品的表面质量用目视检查.
6检验规则
6.1检查和验收
6.1.1产品应由供方质量检验部门进行检验，保证产品质量符合本文件或订货单的规定，并填写质量证 明书，
6.1.2需方对收到的产品应按本文件的规定进行检验.若检验结果与本文件或订货单的规定不符，应在收到产品之日起30天内向供方提出，由供需双方协商解决.如需仲裁，仲裁取样在需方由供需双方共同进行.
6.2组批
产品应成批提交检验，每批应由同一批混合粉末、同一炉次产品组成.
6.3取样
质量一致性检验的项目、产品的取样应符合表2的规定.
表2检验项目及取样
检验项目 取样规定 技术要求的章条号 试验方法的章条号每批随机抽取10%的产品，在产品边部取样，化学成分 研磨后混匀检测.允许供方在混合粉末中取样 4.1 5.1检测报出结果物理性能 每批随机抽取10%的产品，不少于1片（件） 4.2 5.2形状和尺寸 逐件 4.3 5.3表面粗糙度 逐件 4.4 5.4表面质量 逐件 4.5 5.5
6.4检验结果的判定
6.4.1检验结果的数值按GB/T8170的规定进行修约，并采用修约值比较法判定.6.4.2化学成分检验不合格时，取双倍试样对不合格项进行重复检验，若仍有一个试样的检验结果不合格，判该批产品不合格.6.4.3物理性能检验结果不合格时，应从同一组批产品中另取双倍试样进行重复试验.若重复检验结果仍有试样不合格，则判该批产品不合格.
6.4.4产品形状和尺寸、表面粗糙度、表面质量的检验不合格时，按片（件）判不合格.
7标志、包装、运输、贮存及随行文件
7.1标志
每片（件）产品的包装上应标注注册商标（或企业标志）、产品名称、批号及产品合格标志.
7.2包装
7.2.1每片（件）产品应在洁净环境下采用真空包装，并采用相应的防震措施.7.2.2需方对包装有特殊要求时，可由供需双方协商.
7.3运输
运输过程中应注意防震、防潮、防压，防止二次污染.
7.4贮存
产品应存放在干燥阴凉的库房.
7.5随行文件
每批产品应附有随行文件，其中除应包括供方信息、产品信息、本文件编号、出厂日期或包装日期外，还宜包括：
a）产品质量保证书，内容如下：
产品的主要性能及技术参数；产品特点（包括制造工艺及原材料的特点）；对产品质量所负的责任：产品获得的质量认证及各项分析检验结果.
b）产品合格证，内容如下：
检验项目及其结果或检验结论； 批量或批号；检验日期；检验员签名或盖章.
c）产品质量控制过程中的检验报告及成品检验报告.
d）产品使用说明：正确搬运、使用、贮存方法等.
e）其他.
