中华人民共和国国家标准
GB/T 26250-2025代替GB/T26250-2010
电子气体 砷化氢
Electronic gas-Arsine
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布
前言
本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草.
调整和编辑性改动外，主要技术变化如下：
更改了范围（见第1章，2010年版的第1章）；更改了砷化氢应符合的技术要求（见第4章，2010年版的第3章）；更改了采样的要求（见第5章，2010年版的4.1.2）；一更改了氧氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、磷化氢含量的测定方法（见6.2，2010年版的 更改了纯度计算方法（见6.1，2010年版的4.2）；4.4、4.5、4.6、4.8) ;增加了乙烷、乙烯、储烷、硅烷、硫化氢含量的测定方法（见6.2）：更改了水分含量的测定方法（见6.3，2010年版的4.7）；更改了尾气处理的要求（见6.4，2010年版的4.3）； 一更改了金属元素的测定方法（见6.5，2010年版的4.9）；删除了颗粒的测定（2010年版的4.10）：更改了检验规则（见第7章，2010年版的4.1）；更改了标志、包装、运输及贮存的要求（见第8章，2010年版的5.1）； 更改了安全信息的内容（见8.3，2010年版的5.2）.
本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出并归口.
本文件起草单位：玉门大洋天庆石化有限责任公司、吴华气体有限公司西南分公司、上海栋智半导体科技有限公司、全椒南大光电材料有限公司、上海亿铜气体股份有限公司、北京普瑞分析仪器有限公中吴光明化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、联雄投资（上海）有限公司、上海市计量测试技术研究院、杭州新世纪混合气体有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司、宿州伊维特新材料有限公司、北京睿信捷环保科技有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、西南化工研究设计院有限公司
本文件主要起草人：马彬淇、马杰、潘华杰、任如、孙建、叶凯、乔洋、董建平、沈峰、史兰、崔雯、赵赛迪、吕磊、刘丹、孙福楠、郭琼、赖晓峰、王见见、依俊廷、杜雨桐、黄解、李春华、杨金山、鲍光强、王大为、李明、常侠、牛迪、谈益强、尹乐乐、赵洁、何波、唐中伟、周鹏云、唐霞梅.
本文件于2010年首次发布，本次为第一次修订.
电子气体砷化氢
1范围
本文件规定了电子用砷化氢的技术要求、采样、检验规则、标志、包装、运输、贮存，描述了相应的试验方法，提供了砷化氢的安全信息.
本文件适用于以砷化锌为原料提纯制得的电子用砷化氢.
2规范性引用文件
件，仅该日期对应的版本适用于本文件：不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款.其中，注日期的引用文本文件.
GB/T4844纯氮、高纯氨和超纯氨GB/T5099（部分）钢质无缝气瓶GB/T5832.3气体中微量水分的测定第3部分：光腔衰荡光谱法 GB/T7144气瓶颜色标志GB/T11640铝合金无缝气瓶GB/T14193液化气体气瓶充装规定GB15258化学品安全标签编写规定GB/T16804气瓶警示标签GB/T28726气体分析氮离子化气相色谱法 GB/T28727气体分析硫化物的测定火焰光度气相色谱法GB/T33145大容积钢质无缝气瓶GB/T43306气体分析采样导则TSG23气瓶安全技术规程
GB190危险货物包装标志
3术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义.
4技术要求
砷化氢的技术要求应符合表1的规定.
