中华人民共和国国家计量技术规范
微机电系统（MEMS）惯性冲击开关 校准规范
Calibration Specification for Micro-electromechanical Systems (MEMS)Inertial Shock Switches
国家市场监督管理总局发布
微机电系统（MEMS）惯性 冲击开关校准规范
Calibration Specification forMicro-electromechanical
Systems (MEMS）Inertial Shock Switches
归口单位：全国惯性技术计量技术委员会
主要起草单位：北京大学安徽京芯传感科技有限公司广东省计量科学研究院北京智芯传感科技有限公司
参加起草单位：北京空间机电研究所
本规范委托全国惯性技术计量技术委员会负责解释
本规范主要起草人：
参加起草人：
张威(北京大学)张亚婷（安徽京芯传感科技有限公司）杨德俊（广东省计量科学研究院）李宋(北京智芯传感科技有限公司)
周浩楠（北京智芯传感科技有限公司）白先民（北京空间机电研究所）陈得民（北京大学）
目 帐
引言 （Ⅱ）1范围 (1)2引用文件 （1）3术语和定义 （1）5计量特性 4概述. (1)6校准条件 （2）6.1校准环境条件 . （2） （2）6.2仪器及设备 （3）7校准项目及方法 （3）7.1校准项目 （3)7.2校准方法 （3）8校准结果表达 （5）9复校时间间隔 (6)附录A校准证书内页格式 （7)附录BMEMS惯性冲击开关测量不确定度评估示例 （8）
引言
JF1001-2011《通用计量术语及定义》、JF1071-2010《国家计量标准规范编号规则》、JJF1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》共同构成制定本规范的基础性系列规范.
本规范在参考GJB8154-2013《低阔值冲击加速度开关通用规范》和IEC62047一40《半导体器件微机电器件第40部分：微机电惯性冲击开关阔值测试方法》（Sem-iconductor devices-Micro-electromechanical devices-Part 40:Test methods of Micro- electromechanical inertial shock switch threshold）中3.1和5.2.1.2的基础上，并结合微机电系统（MEMS）惯性冲击开关的自身特性编制.
本规范为首次发布.
