中华人民共和国有色金属行业标准
YS/T 986-2014
晶片正面系列字母数字标志规范
Specification for serial alphanumeric marking of the front surface of wafers
中华人民共和国工业和信息化部 发布
前 言
本标准按照GB/T 1.1一2009给出的规则起草.
本标准使用翻译法等同采用SEMIM12-0706《晶片正面系列字母数字标志规范》.
本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）归口.
本标准起草单位：有研半导体材料股份有限公司、杭州海纳半导体有限公司、万向硅峰电子股份有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司.
本标准主要起草人：张静、边永智、孙燕、鲁进军、楼春兰、王飞尧、何良恩、张海英.
晶片正面系列字母数字标志规范
1目的
1.1本标准规定了硅片或其他半导体晶片上一串连续的包括字母和数字的标记.该编号标记及关联信息被储存人数据库，对每个硅片起到了在硅片和器件制造期间追溯和控制的目的.
1.2本标准定义了晶片标记的基本编码规定.无需处理晶片，利用简单的自动光学字符识别设备就可以对该标记进行独立和快速人工识别，确保了硅片制造商对晶片标记的一致性，有利于监控晶片工艺的变化.1.3本标准适用于广泛的晶片产品，如外延片、SOI片、抛光片等.
2 范围
本标准定义了标记包括字母数字的几何尺寸和空间位置，尤其适用于带参考面和带缺口的硅抛光片.
本标准不涉及制作标记的技术.
3规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件.
SEMI M13硅片字母数字标志规范(Specification for alphanumeric marking of silicon wafers)SEMI AUXool供方标志代码表(List ofwafers supplier identification codes)SEMIAUX015光学字符识别（OCR）字符集概要（SEMIOCRcharacteroutlines）
4术语和定义
下列术语和定义适用于本文件.
4.1相邻字符未对准度adjacentcharactermisalignmentRadi同一行两个相邻字符的字符基线之间的垂直距离.
4.2字符间隔character separation任意两个字符的相邻边界之间的水平距离.
4.3字符间距character spacing任意两个相邻字符的字符中心线之间的水平距离.
4.4字符窗口character window将字符都包含在内的矩形窗口.
YS/T 986-2014
4.5晶片正表面front surface of the wafer
4.6行字符未对准度linecharactermisalignmentRline同一行最高和最矮字符的字符基线之间的垂直距离.
5标志的形状和尺寸
5.1写入字符时可使用实线法或点阵法.最小点阵尺寸应为水平方向5个点，垂直方向上9个点.也可用更多的点，或实线.为了实现识别的可靠性，建议采用更高的密度（可参见附录A）.
5.2字符轮廓如图1所示，字符的尺寸和间距应符合表1的规定.
表 1
单位为毫米
字符 尺寸高度 1.624 ±0.025宽度0.812±0.025厚度间距 1.420±0.025注：对单密度点阵，字母“N”的对角线厚度为0.138mm±0.05mm.
图1字符轮廓
6字母数字代码
6.1代码由一行12个字符组成，前8个字符是识别数码，对晶片的某一个供方，识别数码是唯一的；这些字符可以是字母，也可以是数字（第8个字符除外，它应是数字一一见表2）.第9个和第10个字符包含了供方的识别标志字符（见SEMIAUX001），第11个和第12个字符是校验字符（见第9章）.这些校验字符由计算机产生，用于代码验收和读数确认.
6.2 任一指定位置缺少信息时，应用短划线（一）代替.
2
6.3图2给出了字母数字代码的一个实例.
图2代码举例
6.4S表3).
表2
参数 代码 定义字符位置 字符类型1 字母/数字识别数码 A~Z和0~9 供方指定2 字母/数字3 字母/数字4 字母/数字字母/数字 A~Z和 0~9５识别数码 供方指定9 字母/数字7 字母/数字8 只有数字 0-96只有字母 供方识别码 A~Z （见SEMIAUX0011和注）1011 只有字母 校验字符 A11 A~H错码检验方法（见第9章）12 只有数字 检验字符A12 0~7注：在任意指定位置缺少信息时，应用短划线（一）代替.
表3
ABCDEFGHIJKLMNOPQRSTUUWXYZ-.
7字符窗口
7.1 字符窗口应位于晶片的正表面.
