洁净室材料可燃性测试方案.pdf

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洁净室材料可燃性测试方案

分类号4910

2009年6月

目录

引言

1.1 目的1.2 范围. 11.3 1.4 关于要求的说明 关于技术参数测试的说明 11.5 生效日期 关于保有列名的说明 21.6 1.7 单位制. 2 21.8 参考文献 21.9 定义 3

2.1 产品信息 32.2 2.3 技术参数测试应用要求. 检验样品要求 44

3.1 测试判据 53.2 3.3 材料的再次测试, 校准 5 5

4.2 4.1 试样要求 试样制备以及在火蔓延装置中的放置方法. 6 64.3 FPI和SDI的测试条件和限制 84.4 厚度小于6毫米(0.25英寸)的试样以及FPI值范围不确定时的解决方法..

5 可燃性数据计算程序. 14

5.1 引燃测试数据计算, 145.3 5.2 火蔓延测试数据计算. 燃烧测试数据计算, 14 155.4 烟尘损害指数(SDI). 155.5 经技术参数测试的产品所列材料的FPI和SDI 15

1°9 已核实的质量控制程序 166.2 工厂及程序审核(F&PA). 176.3 6.4 制造商的责任 安装检查 17 176.5 制造和生产测试 17

1引言

1.1目的

1.1.1 本测试标准针对主要用于洁净室场所材科、但不仅限于半导体行业材科,规定了的FMApprovals测试要求和程序.采用两个参数评估材料的火蔓延行为以及潜在的烟尘损害:火蔓延指数(FPI)和细尘损害指数(SDI).

1.1.2 仅根据本标准的测试结果不能使产品获得认证,因为产品的最终用途将决定适用的认证标准要求,如果存在这些要求,为了获得认证,也必须达到这些要求.

1.1.3 认证依据可以包括,但不限于,性能要求、标志要求、工厂审查、质量保证程序审核以及 跟进计划.

1.2范围

1.2.1 本测试标准闸述了拟用于洁净室设施的材料的最低性能要求.本标准评估各组件限制火蔓延和烟尘损害的能力,可用于洁净室的材科必须符合本标准的要求.

1.2.2 本标准旨在检验上述产品是否符合规定的最低性能、安全和质量条件,可用于确定这些产品对最终使用条件的潜在适合性.

1.3 关于要求的说明

1.3.1 本测试标准中各项要求的提出基于经验、研究与测试和/或其他组织的标准,同时,本标准借鉴了制造商、使用者、贸易协会、主管部门和/或损失控制专家的建议.

1.3.2 仅符合这些要求不能使产品获得认证,认证标准根据产品的最终用途规定了其他认证测试和要求.

1.4 关于技术参数测试的说明

1.4.1生产样品的检查和测试,目的是评估:

产品的耐用性与可靠性.

产品的适用性:

实际条件下,制造商声明的及FMApprovals认证要求的产品性能:

1.4.2对制造商的生产设施进行检验以及对质量控制程序进行审核,目的是评估制造商是否具有以一致的方式生产受检测产品的能力,以及用于识别产品的标志程序.这些评估和检测可 能被重复,作为FMApprovals认证产品跟进计划的一部分.

1.5关于保有列名的说明

保有列名基于以下条件:

当前测试产品的产量或供货能力继续采用符合要求的质量保证程序:合格的现场检查: 遵从技术参数测试报告规定的条款:生产样品通过再次检验且持续符合要求:且 作为FMApprovals产品跟进计划的组成部分而实施的生产设施及程序审核(F&PA)结果合格.

此外,作为保有技术参数测试列名的条件之一,制造商未经FMApprovals事先授权,不得对产品或服务进行变更.

1.6生效日期

自测试标准生效之日起,接受评估测试的产品应符合该标准的要求.

本标准的生效日期为2009年6月30日

1.7单位制

本标准使用国际单位制(SI).在适用场合,在这些单位后面的圆括号中标有其等同的关国(ULS)惯用单位.标准中闸明的第一个数值应被视为技术要求.换算后的等效值可以是近似值,附 录A列出了本标准中出现的单位及其与美国惯用单位之间的换算方法.国际单位制单位的换算依据美国电气与电子工程师学会(SI10-02IEEE)/美国材料与测试协会(ASTMSI10),《关于使用国际单位制(SI)的美国国家标准:现代米制体系》.

1.8参考文献

本标准参考了以下标准、测试方法及实施规范:

1.Tewarson A,“火灾中热量和化学组分的生成”,第4章,第3节,第3-53至3-124页.SFPE消防工程手册,第二版.美国国家消防协会出版社,马萨诸塞州昆西市,1995年6月

2.Tewarson.A.,“可燃性”,第42章,第577-604页.聚合物物理性质手册(J.E.Mark,编辑).美国物理学会,纽约州伍德伯里市,1996年.

3.Wu,P.K.S.“PVDF火焰蔓延测试”,内部公函,1995年12月27.

4.Tewarson A.和KhanM.M.“电缆-火蔓延行为的评估和小尺度测试方案的建立”,FMGlobal Rescarch技术报告JLOM2E1.RC,FM Global Rescarch,马萨诸塞州诺伍德,1989年1月,

5.技术参数测试标准,线缆火蔓延,分类号3972,FMApprovals,马萨诸塞州诺伍德,2009年3月.

FM Approvals 2

OT1E2.RC,FMGlobal Research,马萨诸塞州诺伍德,1991年6月 6.Khan M.M.“采用火蔓延指数对传送带进行分类",FMGlobal Research技术报告JI

7.FM认证标准,1类传送带,分类号4998,FMApprovals,马萨诸塞州诺伍德,1995年8月.

诺伍德,1994年6月. 8.FM认证标准,烟气排气管或烟气和烟尘排气管,分类号4922,FMApprovals,马萨诸塞州

1987. Newman J.S.和 Steciak J.,“扩散火焰的炭粒特征",Combusrion and Flame,67,55-64,

论文集,1987年3月22日至27日,美国机械工程师协会,纽约 Newman J.S.和Steciak.J.,“扩散火焰的炭粒生成”,1987年ASME/JSME热工联席会议会议

11.ASTME2058,“用火蔓延装置(FPA)测定合成聚合物材料可燃性的标准测试方法”

1.9 定义

本测试标准应用以下术语:临界热通量(CriticalHearFlaxCHF) 临界最大值,即等于或小于此通量时,不会引火蔓延指数(FirePropagationIndex-FPl) 表示材料支持火蔓延的倾向.引燃区 材料表面被外源加热导致着火的区域.烟尘损害指数 炭烟产率乘以FPI.该指数表示火蔓延过程中烟 尘对环境的损害程度,炭烟产率() 释放的烟尘总质量与热解的材料总质量之比.热响应参数(ThermalRespomseParameter-TRP)表示材料的抗引燃性.

2一般说明

2.1产品信息

经过技术参数测试的用于半导体洁净室场所的材科或系统通常以片材或作为粉状或粒状树脂提供.对它们进行测试时,可使用火蔓延装置,将材料制成厚度不低于6毫米 (0.25英寸)的片状试样进行测试,或者采用FMApprovals2.4米(8英尺)平行板测试,将材料制成厚度小于6毫米(0.25英寸)的片状试样,或者技术参数测试列名中要求的其他合适厚度,进行测试.

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