中华人民共和国国家标准
GB/T14601-2025代替GB/T14601-2009
电子特气氨
Electronic specialty gas-Ammonia
国家标准化管理委员会 国家市场监督管理总局 发布
前言
本文件按照GB/T1.1一2020(标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定起草.
和编辑性改动外,主要技术变化如下:
更改了氨应符合的技术要求(见第4章,2009年版的第3章);
增加了“采样”一章(见第5章):一更改了纯度计算方法(见6.1.2009年版的4.2):一更改了氢、氧氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、其他碳氢化合物含量的测定方法(见6.2, 2009年版的4.4);更改了水分含量的测定方法(见6 3,2009年版的4.5);一更改了金属元素及其他元素含量的测定方法(见6.4,2009年版的4.6);增加了“检验规则”一章(见第7章):
-更改了标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求(见第8章,2009年版的第5章).
请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任.
本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口.
本文件起草单位:苏州金宏气体股份有限公司、中吴光明化工研究设计院有限公司、大连保税区科利德化工科技开发有限公司、浙江建业化工股份有限公司、福建久策气体股份有限公司、海宁市英德赛电子有限公司、中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司、广东华特气体股份有限公司、江西华特电子化 学品有限公司、惠州市华达通气体制造股份有限公司、湖北和远气体股份有限公司、吴华气体有限公司西南分公司、浙江省标准化研究院、宿州伊维特新材料有限公司、上海申南特种气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、联雄投资(上海)有限公司、上海飞择科技有限公司、上海市计量测试技术研究院、沈阳中复科金压力容器有限公司、浙江东开半 导体科技有限公司、和立气体(上海)有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司.
本文件主要起草人:王新喜、孙猛、孙福楠、施、赵越、曹素英、何经余、钟九生、赵素粉、万娟秀、朱明、丁高松、许军州、冀延治、胡帅、傅铸红、陈艳珊、吴杰、王百林、刘峰、周博晓、杜鹏举、邱雅惠、陈洁、吴、方华、高天东、何波、杨康、黄辉、施卫丰、姜阳、李春华、宫兵、王大为、易达文、李阳、梁永强、 梁成科、高静、唐霞梅、陈春玉、赵阴、周鹏云、黄进、王超.
本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为:
1993年首次发布为GB/T14601-1993,2009年第一次修订;
本次为第二次修订.
电子特气氨
1范围
本文件规定了电子级氨的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息. 本文件适用于工业液氨提纯制备的电子级氨.
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款,其中,注日期的引用文本文件.
GB190危险货物包装标志GB/T3723工业用化学产品采样安全通则GB/T5099(部分)钢质无缝气瓶 GB/T5100钢质焊接气瓶GB/T5832.3气体中微量水分的测定第3部分:光腔衰荡光谱法GB/T7144气瓶颜色标志GB/T14193液化气体气瓶充装规定 GB15258化学品安全标签编写规定GB/T16804气瓶警示标签GB/T28726气体分析氮离子化气相色谱法GB/T33145大容积钢质无缝气瓶TSGR0005移动式压力容器安全技术监察规程TSG23气瓶安全技术规程
3术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义,
4技术要求
素的要求,金属元素及其他元素的要求应符合表2的规定. 氨的技术要求应符合表1的规定,纯度(体积分数)为99.99999%的氨还应增加金属元素及其他元